多晶矽自動化還原（yuán）爐鍾罩清洗係統

改良（liáng）西門子（zǐ）法是一種化（huà）學方法（fǎ），主要由三氯氫矽與氫氣在1050℃～1150℃，一定壓力下進行還原氣象沉積反應生產高（gāo）純多晶矽，該工藝（yì）一直是半導體行業電子級多晶矽生產最主要的工藝方法。其中，還原爐和氫化爐是改良（liáng）西門子（zǐ）法生產多晶矽的（de）核心設備，其運（yùn）行好壞直接影響多晶矽質量及生產成本（běn）。還原爐和氫化爐為電耗較高的設備，一般企業為降低電耗及成本，大都釆取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫（wēn）、清洗鍾（zhōng）罩等方法，其中鍾罩清洗對多晶矽（guī）生產非常重要，如果鍾罩清洗（xǐ）不幹淨、光潔度不夠，常常會（huì）導致（zhì）矽芯（xīn）擊不穿或對產品質（zhì）量汙染，因此擁有一套完善的多晶矽還原爐清洗係統對（duì）多晶（jīng）矽生產廠（chǎng）家顯得（dé）尤為（wéi）重（chóng）要。
 
國內多晶矽鍾罩清洗方式多種（zhǒng）多樣（yàng），有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大（dà）多釆用（yòng）堿液中壓清洗。我們在使用過程中發現這些清洗方式不能（néng）將鍾罩清洗幹淨，不能滿足生產需求。為此，北京www.91潔清潔設備有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽（guī）自動化（huà）還原爐鍾罩清（qīng）洗係統。
 
多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統是以高壓水射流（liú）為動力的自驅動三（sān）維旋轉噴頭（tóu）形成360°的網狀高壓水柱噴（pēn）射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃（sǎo）射，並采用專用清洗劑等為（wéi）主要清洗液，先用純水(去離子水或（huò）叫脫鹽（yán）水)漂洗，之後再采用高（gāo）純水衝洗，最（zuì）終完成清洗過程。具體特點如（rú）下（xià）：
 
1、核心部件高（gāo）壓泵采用進（jìn）口耐酸堿、耐（nài）高溫、全不鏽鋼的加壓（yā）泵，清洗作（zuò）業時三維旋轉噴頭（tóu）可實（shí）現自驅動旋轉、自動升（shēng）降、全方（fāng）位自（zì）動清洗，並可保證多（duō）晶矽的純度；

2、利用（yòng）多晶（jīng）矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗介（jiè）質加熱，從而改變原（yuán）電加熱工藝；

3、利（lì）用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱（rè），設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐（lú）體工藝；

4、北京www.91潔清潔設備有限公司自行研發設計的自驅（qū）動旋轉升降（jiàng）噴射機構可適應（yīng）各規格的還原（yuán）爐體；

5、由於清洗過程中會有氫氣和酸（suān）性物質產生，所以必（bì）須解（jiě）決二次汙染問題。我公司自行設計的全封閉式清洗裝置可完美（měi）解決二次汙染；

6、設計出（chū）高壓堿液（yè）和清水的供給和分開回收裝置，並進行淨化使後（hòu）序清洗水用（yòng）於前（qián）序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。

實際使用證明，北京www.91潔清潔設備有限公司研發生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統有效解決了生產（chǎn）中的實際問題，為公（gōng）司節能降耗提供了有利條件，適用（yòng）於在全國範圍推廣應用。