新型電子（zǐ）級多晶矽還原爐（lú）鍾罩清洗係統

多晶矽材（cái）料是以工業矽為原料經（jīng）一係列物理化學反應提純後達到一定純度的電子材料，其具有高純度的特點，在整個生產過（guò）程中，對產品質量的（de）控製要求很高。在競爭激烈市場（chǎng）價格越來越低的態（tài）勢（shì）下，更好的壓縮成本，也（yě）是多晶矽（guī）生產廠家關注的重（chóng）點（diǎn）。

多晶矽生產多采用改良西門子法，也（yě）是用來生產半導體級多晶矽的主（zhǔ）要（yào）工藝（yì）方法。還原爐是改良西門（mén）子法的核（hé）心設備，多晶矽的矽棒就是在其中“生長”出來的，因此還原（yuán）爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵。


在多晶矽的（de）生產設備中，還原（yuán）爐運行好壞直接影（yǐng）響多晶矽（guī）質量和生產成本，一般為降低耗電和成本，采取調整（zhěng）工藝（yì）參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鍾（zhōng）罩等方法。一套好（hǎo）的鍾罩清洗裝置在多晶矽生產中是非常必要的，因為鍾罩清洗的光潔度和清潔度如（rú）果不夠，會導致矽芯擊不穿或產品質量汙染。

目前多晶矽鍾罩的清洗方式（shì）多種（zhǒng）多樣，有高壓（yā）清洗、化學溶劑低壓清（qīng）洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於（yú）2009年，www.91潔清潔設備有限公司是國內第一家研（yán）發（fā）設計製造並獲得實用新（xīn）型專利的。目前其設備應用也是覆蓋（gài）了國內90%的（de）多晶矽企（qǐ）業（yè），為多晶矽（guī）行業提（tí）供了（le）幾十套還原爐清洗係統。

經過多（duō）年來客戶的實際應用和需求，通（tōng）過總結借鑒國內外鍾罩及其它罐類清洗烘幹經（jīng）驗，對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵（miàn）的認識。www.91潔充分發揮高（gāo）壓水清（qīng）洗和吸除塵的技術（shù）優（yōu）勢，研發半導（dǎo）體級（jí）多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹（gàn）操作。

1、設備性能可靠

www.91潔（jié）電子（zǐ）級多晶矽鍾罩清洗係統性能可靠，核心部件、元件和附件（jiàn）原裝進口。

2、自動化程度高

自動化程度高（gāo），用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗（xǐ）烘幹時間、溫度、清洗、漂（piāo）洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。

一（yī）次吊裝在一個工作台上完（wán）成全部清洗、烘幹過程，可實現（xiàn）遠程對樓（lóu）下（xià）設備（bèi）的控製和主要（yào）參（cān）數（shù）監控。

3、安全環保

全密閉式清洗烘幹（gàn）係統，使汙染物(廢氣、廢水（shuǐ）等)在受控的條件下，按（àn）設計出（chū）口排放，基本（běn）消除了對現場及操作人員的汙染。

www.91潔多晶矽鍾罩清洗係統按防爆要求設計，加多處（chù）安全互（hù）鎖功能(樓上、樓下操（cāo）作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等)。

4、適應範圍廣

可（kě）以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹，現在（zài）已經使用的有四種。

升級後的多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據不（bú）同的鍾罩、不同車間（jiān）廠房（fáng）不同能源條件，提供個性化設計，節省了人力物力（lì），大大降低勞動強度，這也對提高多晶矽品質產生重要意義。