多晶矽正從光伏(fú)邁向電子級 還原爐清洗不可忽視
時間:2019-04-30 15:56:04作者:LeeZhou來源:德(dé)高潔清潔設備
多晶矽,作為光伏與半導體行業的基礎命脈,其自身品質與(yǔ)成本狀(zhuàng)況極大程度地決定了行業的發展水平(píng)。集成電路用的電子級矽材料幾乎是目前工業(yè)領域純度(dù)要求最高的產品,純度要求達到99.99999999999%,即11個9以上,而普通太陽能級多晶矽材料(liào)純度通常在5~8個9左右,國內多晶矽正由光伏邁向電子級。

國際谘詢機構IBS發布的數據顯示,從2014年起,中國集(jí)成電路市場規模在(zài)全球占(zhàn)比(bǐ)超過50%,預計到2020年超過60%。根據《國家集成電(diàn)路產業發展推進綱要(yào)》明確提出的發展目標,2018年中國(guó)集成電路產業增長22.0%,產業(yè)規模達到6400億元。到2020年(nián)將全麵達到全國集成電(diàn)路發展“十三五”規劃的目標,產業銷售規模達到9300億元。
在多晶矽的生產過程中,一些物料和汙(wū)物(wù)會粘附在內(nèi)壁、視孔(kǒng)鏡、底部法蘭上(shàng),增(zēng)加(jiā)反(fǎn)應生成過程中的能耗,增加生產成本,更加影響多晶矽的質量,影響了多(duō)晶矽的純度。為了保證多晶矽還原爐表麵的(de)潔淨度,需要對(duì)還原(yuán)爐清(qīng)洗和烘幹等(děng)工作。

德(dé)高潔公司憑借多(duō)年來對自動化清洗係統設計(jì)、製造的成熟(shú)經驗和能力(lì),早在2009年就研發出(chū)多晶矽還原爐清洗係統,經過多年來客戶的實際(jì)應用和需求,通過總結借鑒國內外經驗,www.91潔對汙染(rǎn)和潔(jié)淨的(de)概念和控製有了(le)更全麵的認識,充分發揮高(gāo)壓水清洗和(hé)吸除塵的技術(shù)優勢,進一(yī)步(bù)研製出電(diàn)子級多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗係統。

www.91潔電子級多(duō)晶矽鍾罩清洗係統自(zì)動化(huà)程度高,用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,能實(shí)現對還原爐鍾罩(zhào)的自(zì)動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度(dù)、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手(shǒu)動功能。一次吊裝(zhuāng)在一個(gè)工作台上完成全部清洗、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備的控製和主要參數監控。
全密閉式清洗烘幹係統,使汙染物(wù)(廢氣、廢水等)在受控的(de)條件下,按設計出口排放,基本消除了(le)對現場及操作人員的汙染。核心部件、元件和(hé)附件原裝(zhuāng)進口保證了電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能的可靠,可以在一套係統實(shí)現多種型號鍾罩的清洗烘幹。目前,www.91潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有國(guó)內90%的用戶,為多(duō)晶矽行業提供(gòng)了幾十套還原爐清洗係統。

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