www.91潔：大型多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩內部“去人化環保化”清洗設備

多晶矽是微電子（zǐ）行業、半導體（tǐ）行業、光伏行業的（de）基礎材料，在多晶矽（guī）生產過程中，還原爐鍾罩表麵上會沉積一定厚度的多（duō）晶矽副產物、矽粉等，在下（xià）一爐生產時會影響還原（yuán）爐（lú）鍾罩的（de）反射效率、產（chǎn）品質量，所以多晶矽棒生長完成並從還原爐內拆（chāi）除完之後，需要對（duì）還原爐鍾罩內壁進行清洗烘幹（gàn），保證其內部的（de）幹燥潔淨。

在國內多晶矽廠家生產初期，還原爐鍾罩清洗的主要方式是人（rén）工清洗，將還（hái）原爐鍾罩放到固定（dìng）位置後，清洗人員配好清洗液，穿戴（dài）好全套的防護用品後，用高壓水槍噴射到內壁上對附著物依次（cì）進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不（bú）幹淨的部位用（yòng）酒精擦拭，再（zài）用高溫壓縮空（kōng）氣進行烘幹。

由於每一個生產周期結束後均需要對還原爐鍾罩進行清洗，為保證（zhèng）多晶矽產品的品質（zhì），對還原爐鍾罩內表麵的潔（jié）淨要求十分苛（kē）刻，而（ér）對於大型（xíng）還原（yuán）爐（lú）鍾罩來說，采用人工（gōng）清洗（xǐ）存在清洗不幹（gàn）淨、清洗（xǐ）的一致性也難以保證、浪費人力的缺陷，且人（rén）工（gōng）配堿和（hé）噴洗不安全，稍有不慎堿液容易濺到身上造成傷害，如（rú）何減少人（rén）工參與，實現更安全、環保的清洗方式成為多晶矽還原爐鍾罩內部清洗的難題（tí）。

www.91潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩自動化（huà）清洗（xǐ）係統，由高壓熱水（shuǐ）清洗係統（tǒng）、熱風淨化烘幹係統、控製係（xì）統等組（zǔ）成，係統操作簡單，自（zì）動化程度高（gāo），整個清洗（xǐ）工藝包含：還原爐鍾罩到位→預清洗→清洗劑(堿（jiǎn）液)清洗→漂洗→高壓純（chún）水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫（wēn）幹燥→鍾罩（zhào）吊走，全程僅需人工輔助作業，解（jiě）決傳統人工清洗存在不安全，不環保，清洗效果差，自動化程度低，效率不高的缺陷。
 
係統采（cǎi）用密閉式高壓水射流清洗係統，清洗（xǐ）時三維清洗噴頭由高（gāo）壓（yā）熱水動力裝置射出高壓水流作（zuò）為驅（qū）動動力，對鍾罩表（biǎo）麵形（xíng）成360度網狀噴射（shè）表麵，三（sān）維旋（xuán）轉噴頭自（zì）由升降，因此可以全麵的對鍾罩進行噴射清洗，清洗時（shí）用專用清洗劑（jì）等為（wéi）主要清（qīng）洗液，用純（chún）水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最（zuì）後用高純水（shuǐ）衝（chōng）洗完成清洗過程，能夠保證清（qīng）洗的（de）一致性和均勻性。

全密閉式清洗烘（hōng）幹方式使清洗安全可靠，不汙染環境，保護人身健康不受危害，清洗後用經（jīng）過三級淨（jìng）化(10萬級)的純淨空氣，梯級加熱，保證烘幹完的（de）鍾罩不再結露，可直接進入生產作業，有（yǒu）效提高自動化程度和生產效率（lǜ）。

洗滌（dí）後的含酸或堿液廢水（shuǐ）、廢渣，排（pái）放到需方指（zhǐ）定處，由需方自行處理，配排汙（wū）水(池、槽)溝；清洗和烘幹（gàn）產生的廢氣做室外排空排放（fàng）。係統采用PLC+觸摸屏柔性自（zì）動控製（zhì）係統，實（shí）現對還原爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹同時具有半自（zì）動或手動（dòng）功能，可以在一套係統實（shí）現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。
 
www.91潔是（shì）一家專業清潔環保設（shè）備供（gòng）應商，在（zài）環保除塵、高壓清洗機、淨化（huà）成套裝備、工業設備清潔領域已積累了（le）近三十年的業內寶貴經驗，公司擁有20餘人研發團隊，長期服務於國（guó）企、軍工、外資、上市公（gōng）司等500強企業，針對多晶矽還原爐鍾罩的清洗，德（dé）高潔（jié）可根據使用方不同還原爐鍾罩、車間廠房的情況，能源條件不同（tóng），提供個性化設計，目前，www.91潔在多晶矽還（hái）原爐清洗行（háng）業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業提供了上百（bǎi）套還原爐清洗係統，並在北京、上海（hǎi）、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處，服務（wù）體係網絡（luò）健全，零配件充足。