高壓清洗機（jī）在玻璃基板清洗中的（de）應用

在當今的LCD顯（xiǎn）示器生產過程中（zhōng），清洗工藝的應用是非常重要的（de），例如塗膠前對ITO玻璃的清洗、顯影後對玻璃基板（bǎn）的清（qīng）洗以（yǐ）及磨擦（cā）工藝後對玻璃基板（bǎn）的清洗等。液晶顯示器的一整套（tào）製備工藝中，清洗（xǐ）工藝就占到了總工作量的30%～40%。隨著液晶顯示技術的不斷進步，清洗工藝的地位也越來越重要。以下（xià）是液晶顯示器的生產流程簡圖，我們可（kě）以（yǐ）從中（zhōng）看到清洗工藝在整個工藝路線中的重要性。
 
ITO薄膜層、TFT陣列等（děng）製備工藝過程以（yǐ）及玻璃基板（bǎn）的包裝、搬運、運輸和存儲過程是玻璃基板上的主要汙染程序，其主要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂等油，以（yǐ）及三氧化二鋁（lǚ）、二氧化矽等無（wú）機微粒和製（zhì）備過程中遺留的殘留物、水跡、手（shǒu）指印等（děng）。在整個LCD的清洗過程中，業內針對上述汙染物采用過不同的清洗方法，一方麵是（shì）要去（qù）除玻璃基板上（shàng）沾染的汙染物，避免其對液（yè）晶顯示器的性（xìng）能造成不良的影響，而另（lìng）一方麵也可以起到改善玻璃基板表麵性能，增加其與加（jiā）工過（guò）程中使用的各種材（cái）料之間的親合力。
 
隨著液晶生產線對清（qīng）洗（xǐ）工藝要求越來越高，工程師們提出了將高壓水射流技術應用於玻（bō）璃基板（bǎn）清洗中（zhōng）的（de）可能。在使用常（cháng）壓水噴淋清洗（xǐ）時，噴射到玻璃基板上的（de）水在其高表麵張力的作用下，會在玻（bō）璃簡板表麵形（xíng）成一層水膜。水膜（mó）和混合基板表麵上的微細（xì）顆粒和其他汙垢，這反而會對汙（wū）垢起到（dào）保護作用，後（hòu）續的水則很難將這層水膜衝破（pò），因此會使清洗效率降低。而高壓水射流技術是（shì）一種新型的清洗技（jì）術（shù），我們采用超高壓微細顆粒水噴射清洗，將水形成大量的粒徑（jìng）在幾微米到幾十微米的（de）微細液滴（dī），並以極高的速度和（hé）密度連續地噴（pēn）射衝擊被清洗物表麵。由於這種微（wēi）細顆粒的水滴不可能形成對汙垢有保護作（zuò）用（yòng）的水膜，因此對基板上的各（gè）種（zhǒng）汙垢特別（bié）是微細顆粒汙垢有很好（hǎo）的去除效果。

將高（gāo）壓清洗（xǐ）機應用到玻璃（lí）基板的清（qīng）洗工藝中，可通過將清洗液加壓到100～300bar的（de）壓（yā）力，再通過孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴射嘴噴出，形成高流速的（de）微小液滴（dī）來清洗玻璃基板。實際應用表（biǎo）明，高壓清洗機的應用提高了常壓噴淋清洗的洗淨力，縮短了清洗線的長度，並且節省了淨化（huà）空間和DI水（shuǐ）的使用（yòng）量。