電子級多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗係統
時間:2017-12-05 17:24:52作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設備
能源和環境問題日益成為各方關注的焦點,為了實現能源和環境的可持續發展,世界各國都將太陽能發電行業作為發展的重(chóng)。多(duō)晶矽還是信息產業和新(xīn)能源產業最基礎的原材料,還原工(gōng)藝是多晶矽生產的關鍵工藝和成品工藝,其(qí)工藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量和產量。電子級多晶矽生產工藝要(yào)求(qiú)很高,要在“無油、無(wú)水、無塵”的環境下運行(háng)。

目前多晶矽生產多數(shù)采用改良西門子法(fǎ),用來生產半導體行業(yè)電子級多晶矽;還原爐和氫化爐是(shì)改良西門(mén)子法生產多晶矽的(de)核心設備,其運行好壞直接影響多晶矽(guī)質量及生產成本。鍾罩清洗不幹淨、光潔度(dù)不夠,常常(cháng)導致(zhì)矽芯擊不穿或產品質量汙染,所以鍾罩清洗設備對(duì)多晶矽生產非常重(chóng)要。
經過多年來(lái)客戶的實際應用和需求,通(tōng)過總結(jié)借(jiè)鑒國(guó)內外經驗,www.91潔對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵的認識,充分發揮高壓水清洗和(hé)吸除塵的技(jì)術優勢,研(yán)發電子級多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清洗係統。
www.91潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器(qì)、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝(zhuāng)置、微負壓(yā)係統、清洗工作台、電氣控製係統等(děng),係統實現了鍾罩的全自動清洗(xǐ)和烘幹操作。

電(diàn)子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統特點:
1、多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統以(yǐ)3D形式的網狀噴射來完成爐筒內部表麵的水力(lì)掃射,加之萬級淨化幹燥係統,完(wán)全滿足電子級多(duō)晶(jīng)矽生產的需求。
2、自動化程度高,清洗時隻(zhī)需一鍵操(cāo)作即可,操作簡單方便。自動控製係統(tǒng)能實現對還(hái)原爐鍾(zhōng)罩的自(zì)動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度(dù)、清洗、漂洗等工藝參數可以(yǐ)根據需要自行調整(zhěng)設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在整個還原爐(lú)的(de)清(qīng)洗過程中,清洗、幹(gàn)燥中筒內形成微負壓狀態,防止清洗外溢,同時將底座與筒(tǒng)體下法蘭處的汙染物等一並吹掃,通過排汙管排出,從而保證了整個過程不會對潔(jié)淨區造成汙染。全密(mì)閉式清洗烘幹係(xì)統,使(shǐ)汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件(jiàn)下,按設計出口排(pái)放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
4、www.91潔(jié)電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能可靠,核心部(bù)件、元件(jiàn)和附件原裝進口。電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統的適應範圍廣,一套係統可(kě)以實現多(duō)種型號(hào)鍾罩的清洗烘幹。
多晶矽鍾罩的清(qīng)洗方式多種(zhǒng)多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,www.91潔多(duō)晶矽鍾罩清洗係統覆蓋了國(guó)內90%的多晶矽企業,為多晶矽行(háng)業提供了(le)幾十套還原爐清洗係統。這套電子級(jí)多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統經過反複(fù)摸索求證,可根據不同的鍾罩、不同車間廠房不(bú)同能源條件,提供個性化設計,節(jiē)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶矽品質產生重要意義,取得了一定的經(jīng)濟效益和社會效益。

目前多晶矽生產多數(shù)采用改良西門子法(fǎ),用來生產半導體行業(yè)電子級多晶矽;還原爐和氫化爐是(shì)改良西門(mén)子法生產多晶矽的(de)核心設備,其運行好壞直接影響多晶矽(guī)質量及生產成本。鍾罩清洗不幹淨、光潔度(dù)不夠,常常(cháng)導致(zhì)矽芯擊不穿或產品質量汙染,所以鍾罩清洗設備對(duì)多晶矽生產非常重(chóng)要。
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電(diàn)子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統特點:
1、多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統以(yǐ)3D形式的網狀噴射來完成爐筒內部表麵的水力(lì)掃射,加之萬級淨化幹燥係統,完(wán)全滿足電子級多(duō)晶(jīng)矽生產的需求。
2、自動化程度高,清洗時隻(zhī)需一鍵操(cāo)作即可,操作簡單方便。自動控製係統(tǒng)能實現對還(hái)原爐鍾(zhōng)罩的自(zì)動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度(dù)、清洗、漂洗等工藝參數可以(yǐ)根據需要自行調整(zhěng)設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在整個還原爐(lú)的(de)清(qīng)洗過程中,清洗、幹(gàn)燥中筒內形成微負壓狀態,防止清洗外溢,同時將底座與筒(tǒng)體下法蘭處的汙染物等一並吹掃,通過排汙管排出,從而保證了整個過程不會對潔(jié)淨區造成汙染。全密(mì)閉式清洗烘幹係(xì)統,使(shǐ)汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件(jiàn)下,按設計出口排(pái)放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
4、www.91潔(jié)電子級多晶矽鍾罩清洗係統性能可靠,核心部(bù)件、元件(jiàn)和附件原裝進口。電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統的適應範圍廣,一套係統可(kě)以實現多(duō)種型號(hào)鍾罩的清洗烘幹。
多晶矽鍾罩的清(qīng)洗方式多種(zhǒng)多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,www.91潔多(duō)晶矽鍾罩清洗係統覆蓋了國(guó)內90%的多晶矽企業,為多晶矽行(háng)業提供了(le)幾十套還原爐清洗係統。這套電子級(jí)多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統經過反複(fù)摸索求證,可根據不同的鍾罩、不同車間廠房不(bú)同能源條件,提供個性化設計,節(jiē)省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶矽品質產生重要意義,取得了一定的經(jīng)濟效益和社會效益。
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