電子級多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)
時間:2017-12-05 17:24:52作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設備
能源和環(huán)境問(wèn)題日益成為各方關注的焦點,為了實現能源(yuán)和環境的可持(chí)續發展,世界各國都將太陽能發電行業作為發展的重。多晶矽還是信息產業和新能源產業最(zuì)基礎的原材料,還原工藝(yì)是多晶(jīng)矽(guī)生產的關(guān)鍵工藝(yì)和成品工藝,其工藝條件和參數控製好壞直接影響產(chǎn)品質量和產量。電子(zǐ)級多晶矽生產工藝要(yào)求很高(gāo),要在“無油、無水、無塵”的環(huán)境(jìng)下運行。

目前多晶矽生產多數采用改(gǎi)良西門子法,用來生產半(bàn)導體行業電子(zǐ)級多晶矽;還(hái)原(yuán)爐和氫化爐是(shì)改良(liáng)西門子法生產多晶矽的核心設備,其運行好壞直接影響多晶矽質量(liàng)及(jí)生產成本。鍾罩清洗不幹淨、光潔度不夠,常常導致矽芯擊不穿或產品質量汙染,所以鍾(zhōng)罩清洗設備對(duì)多(duō)晶矽(guī)生產非常重要。
經過多年來客戶的實際應用(yòng)和需求,通過總(zǒng)結借鑒國內(nèi)外經驗,德(dé)高潔對(duì)汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵的(de)認識,充分(fèn)發揮高壓(yā)水(shuǐ)清洗和吸(xī)除塵的技術優勢,研(yán)發電子級多(duō)晶矽還原爐鍾罩清洗係統。
www.91(gāo)潔電(diàn)子級多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係(xì)統包括(kuò)低壓熱水清(qīng)洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降(jiàng)執(zhí)行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾(lǜ)係統、控(kòng)製裝置(zhì)、微負壓係統、清洗工作(zuò)台、電氣控製係統等(děng),係統實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作(zuò)。

電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統(tǒng)特點:
1、多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗(xǐ)係統以3D形式的網狀噴射來完成爐(lú)筒內部表麵的水力(lì)掃射,加之(zhī)萬級淨化幹燥係統,完全滿足電子級多晶矽生(shēng)產的需求。
2、自動化程度高,清洗(xǐ)時隻需一鍵操作即(jí)可,操作簡單方便。自動控(kòng)製係統能實現對(duì)還原爐鍾罩的自動(dòng)清洗和烘(hōng)幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據(jù)需要自行調整(zhěng)設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在(zài)整個還原爐的清洗過程中,清洗、幹(gàn)燥中筒內形成微負壓狀態,防止清洗外溢,同時將底座(zuò)與筒體下法蘭處的汙染物等一並吹掃,通過排汙管排(pái)出,從而保證了整個(gè)過(guò)程不會對潔淨(jìng)區造成汙染。全密閉式清洗烘幹係統(tǒng),使汙(wū)染物(廢氣、廢水等)在受(shòu)控的條件下,按設計出(chū)口排放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
4、www.91潔電子級多晶矽鍾罩清洗係(xì)統(tǒng)性能(néng)可靠,核心部(bù)件、元件和附(fù)件原裝進口(kǒu)。電子級多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統的適應範圍廣,一套係(xì)統可以實現多種型號鍾(zhōng)罩的清洗烘幹(gàn)。
多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,www.91潔多晶矽鍾罩清洗係統覆(fù)蓋了國內90%的多晶矽企業,為多晶矽行業(yè)提(tí)供了幾十(shí)套還原爐(lú)清洗係統。這(zhè)套電子級多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統經過反複摸索(suǒ)求證,可根(gēn)據不同的鍾罩、不同車(chē)間廠房不同能源(yuán)條件,提供個性化設(shè)計(jì),節省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對(duì)提(tí)高多晶矽品質產生重要意義,取得了一定的經濟效益和社會效益。

目前多晶矽生產多數采用改(gǎi)良西門子法,用來生產半(bàn)導體行業電子(zǐ)級多晶矽;還(hái)原(yuán)爐和氫化爐是(shì)改良(liáng)西門子法生產多晶矽的核心設備,其運行好壞直接影響多晶矽質量(liàng)及(jí)生產成本。鍾罩清洗不幹淨、光潔度不夠,常常導致矽芯擊不穿或產品質量汙染,所以鍾(zhōng)罩清洗設備對(duì)多(duō)晶矽(guī)生產非常重要。
經過多年來客戶的實際應用(yòng)和需求,通過總(zǒng)結借鑒國內(nèi)外經驗,德(dé)高潔對(duì)汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵的(de)認識,充分(fèn)發揮高壓(yā)水(shuǐ)清洗和吸(xī)除塵的技術優勢,研(yán)發電子級多(duō)晶矽還原爐鍾罩清洗係統。
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電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統(tǒng)特點:
1、多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗(xǐ)係統以3D形式的網狀噴射來完成爐(lú)筒內部表麵的水力(lì)掃射,加之(zhī)萬級淨化幹燥係統,完全滿足電子級多晶矽生(shēng)產的需求。
2、自動化程度高,清洗(xǐ)時隻需一鍵操作即(jí)可,操作簡單方便。自動控(kòng)製係統能實現對(duì)還原爐鍾罩的自動(dòng)清洗和烘(hōng)幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據(jù)需要自行調整(zhěng)設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在(zài)整個還原爐的清洗過程中,清洗、幹(gàn)燥中筒內形成微負壓狀態,防止清洗外溢,同時將底座(zuò)與筒體下法蘭處的汙染物等一並吹掃,通過排汙管排(pái)出,從而保證了整個(gè)過(guò)程不會對潔淨(jìng)區造成汙染。全密閉式清洗烘幹係統(tǒng),使汙(wū)染物(廢氣、廢水等)在受(shòu)控的條件下,按設計出(chū)口排放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
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多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣,有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等,www.91潔多晶矽鍾罩清洗係統覆(fù)蓋了國內90%的多晶矽企業,為多晶矽行業(yè)提(tí)供了幾十(shí)套還原爐(lú)清洗係統。這(zhè)套電子級多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統經過反複摸索(suǒ)求證,可根(gēn)據不同的鍾罩、不同車(chē)間廠房不同能源(yuán)條件,提供個性化設(shè)計(jì),節省了人力物力,大大降低勞動強度,這也對(duì)提(tí)高多晶矽品質產生重要意義,取得了一定的經濟效益和社會效益。
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