www.91潔:大型多晶矽還原爐鍾罩內部“去人化環保化”清(qīng)洗(xǐ)設備(bèi)

    時間:2023-07-05 14:09:00作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設備分享到:QQ空間(jiān)新浪微博騰訊微博人人網微信

    多(duō)晶矽是微電子行業、半(bàn)導體行(háng)業、光伏行業的基礎材料,在多晶矽生產過程中,還原爐鍾罩表麵上會(huì)沉積一定(dìng)厚度的多晶矽副產物、矽粉等,在下一爐生產時會影響還原爐鍾罩的反射效率、產品質量(liàng),所以多晶(jīng)矽棒生長完成(chéng)並從(cóng)還原爐內拆除完之後,需要對還原爐(lú)鍾(zhōng)罩內壁進行清洗烘幹,保證其內部的幹燥潔淨。

    在國內多晶矽廠家生產初期,還原爐鍾罩清洗的主要方式是人工清洗,將還原爐鍾罩(zhào)放到固定(dìng)位置後,清洗人員配好清洗液,穿戴好全套的防護用(yòng)品後,用高壓水槍噴射到內壁上對附(fù)著物依次進行純水清洗和(hé)清洗液清洗,對(duì)部分清洗不幹淨的部位用酒精擦拭,再用高溫壓縮(suō)空氣進行烘幹。

    由於每一個生產周期結(jié)束後均需要對還原爐鍾罩進行清洗(xǐ),為保(bǎo)證多晶矽產品的品質,對還原爐鍾罩內表麵的潔淨要求十分苛刻,而對於大型還原爐鍾罩來說,采用(yòng)人工清(qīng)洗存在清洗不幹淨、清洗的一致性也難以(yǐ)保證、浪(làng)費人力的缺陷,且人工配堿(jiǎn)和噴洗不安全(quán),稍有不慎堿液容易濺到身上造成(chéng)傷害,如何減少人工參與,實現更安全(quán)、環保(bǎo)的(de)清洗方式成為多(duō)晶矽(guī)還原爐鍾罩內部(bù)清洗的難題。

    www.91潔多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統,由高壓熱水清洗係統、熱風淨化烘幹係統、控製係(xì)統等組成,係統操作簡單,自(zì)動(dòng)化程度高,整個清洗工藝包含:還(hái)原爐鍾罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗(xǐ)→漂洗→高壓純水衝洗→淨化熱空氣幹燥→常(cháng)溫幹(gàn)燥→鍾(zhōng)罩吊走,全程僅需人工輔助作業,解決傳統人工清洗存在不安全,不環保,清(qīng)洗效果差,自動化程度(dù)低,效率不高的缺陷。
     
    www.91潔多晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗機構

    係統采用密閉(bì)式高壓水(shuǐ)射流清洗係統,清洗(xǐ)時三維清洗(xǐ)噴頭由高壓熱水動力裝置射出高壓水流作為驅動動力,對鍾罩表麵形成360度網狀噴射表麵,三維旋轉(zhuǎn)噴頭自由升降,因此可以全麵的對鍾罩進行噴射(shè)清洗,清洗時用專用清洗(xǐ)劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水(shuǐ))漂洗,最後用高純水衝洗完成清洗過程,能夠保(bǎo)證清洗的(de)一致(zhì)性和均勻性。

    全密閉式清洗烘幹方式使清洗安全可靠(kào),不汙染環境,保護人身健康不受危害,清洗後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,梯級加熱,保證烘幹完的鍾罩不再結露,可直接進入生(shēng)產作業,有效(xiào)提高自動化程度和生產效率(lǜ)。

    洗滌後的含酸或堿液廢水(shuǐ)、廢渣,排放到需方指(zhǐ)定處,由需方自(zì)行處理,配排汙水(池、槽)溝;清洗和烘(hōng)幹產(chǎn)生(shēng)的廢氣做室外排空排放。係統采用PLC+觸摸屏柔(róu)性(xìng)自動控製係統,實現對還原爐鍾罩的自動清(qīng)洗和烘幹同時具(jù)有半自動或手動功能,可以在一套係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。
     
    www.91潔第五(wǔ)代高壓水自動化多晶矽還原爐鍾罩清洗係統

    www.91(gāo)潔(jié)是一家專業清潔環保設備供應商,在環保除塵、高壓清洗機、淨化成套裝備(bèi)、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業(yè)內寶貴經驗,公司擁有(yǒu)20餘人研發團(tuán)隊,長期(qī)服務於國企、軍工、外(wài)資、上市公司等500強企業,針對多晶矽還原爐鍾罩的清洗,www.91潔可根據使用方不同還原爐鍾罩(zhào)、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化(huà)設計,目前,www.91潔在多晶矽還原爐清(qīng)洗行業已擁(yōng)有國內90%的用戶,為多晶矽行業提供了上百套還原爐清洗係統,並在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處,服務體係網絡健全,零配(pèi)件充足。

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