www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統及清洗注意（yì）事項

目前，隨著光伏產業的快速發展，對多晶矽（guī）的需求量也日趨增大。在多晶（jīng）矽生產設備中，還原（yuán）爐是整個生產係統的關鍵部（bù）件，多晶矽（guī）生產企（qǐ）業要實現節能降耗就（jiù）必須嚴格把控還原爐的運行。

眾所周知，對還原（yuán）爐內壁進行清洗處理，就是降低能耗的一種有效的方式，通過提高還原爐（lú）內壁光潔（jié）度及（jí）光（guāng）亮度，使還（hái）原爐在矽棒生長過程中，爐壁在高溫狀態下，對熱輻射反射率的（de）最（zuì）大化，從而起（qǐ）到降低能耗的作用。



www.91潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統是以高壓清洗機為主（zhǔ）機，以高壓水射流為動（dòng）力的自驅動三維旋轉噴頭形（xíng）成360°的（de）網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑等（děng）為主要清洗液，先用純水（shuǐ）(去（qù）離子水或（huò）叫脫（tuō）鹽水)漂洗，之後再采用高純水衝洗（xǐ），最終完成清洗過程。

一、工作流程

還原爐鍾罩到（dào）位—預清洗—清洗（xǐ）劑(堿（jiǎn）液)清洗—漂洗（xǐ）—高純水衝洗—淨化熱空氣幹燥—常溫幹燥—鍾罩吊走。

二（èr）、係統特點

1、www.91潔多（duō）晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統采用進口高（gāo）壓泵，耐酸堿、耐高溫。清洗作業時三維旋轉噴頭實現自驅動旋轉、自動升降、全方（fāng）位自動清洗，保證（zhèng）多晶矽的純度；

2、設置10萬級空氣淨化換熱裝置（zhì）代替原（yuán）氮氣電加熱幹燥還（hái）原爐體工藝（yì）；

3、自行研發設計的自（zì）驅動旋轉（zhuǎn）升降噴射機構（gòu），一套係統實現（xiàn）多種（zhǒng）型號（hào）還原爐鍾罩的清洗烘幹；

4、由（yóu）於清洗過程中會（huì）有氫氣（qì）和酸性物質（zhì）產（chǎn）生，www.91潔（jié）多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗（xǐ）係統采用（yòng）全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染；

5、www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統充（chōng）分利用（yòng）資源，設計了高壓堿液和清水的供給和分開回收（shōu）裝（zhuāng）置，並進行淨化使後序清洗水用於前序的（de）漂洗工序；利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗（xǐ）介（jiè）質加熱，從而改變原（yuán）電（diàn）加熱工藝。

三、注（zhù）意（yì）事項

多晶矽還原爐（lú）內的殘留物及清洗液具有腐（fǔ）蝕性，同（tóng）時清洗中殘留氯矽烷會發生水解伴有氫氣產生，容易產生爆鳴燃燒。因此，現場操作中，需要做好安全防護措施（shī）。



1、清洗過程中必（bì）須穿戴好勞保用品，戴防護手套；

2、用（yòng）氫（qīng）氧化鈉溶液擦洗基盤時操作要緩慢，以免摩擦生熱引起著火；

3、基盤清（qīng）洗過程中要（yào）避（bì）免溶液流（liú）進進料管和尾氣管內造成二次汙染，www.91（gāo）潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係統采用（yòng）全封閉式清洗裝置可完美解（jiě）決二次汙染的問題；

4、清洗中要保證將鍾罩烘烤幹，避免有殘留水分；

5、清洗劑的選擇對清洗效果（guǒ）和作業安（ān）全有直接影響，這方麵我公司積累了豐（fēng）富（fù）的實踐經驗解決閃爆等問題。