高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應（yīng）用

在當今的LCD顯示器生產過程中，清洗工（gōng）藝的應用是非常重要的，例如塗膠前對ITO玻璃的清洗（xǐ）、顯影後對玻璃基板的清洗以及磨（mó）擦工藝後對玻璃基板的清洗等。液晶（jīng）顯示器的（de）一整套製備工藝中，清洗工藝就占到了總工作量（liàng）的30%～40%。隨著（zhe）液晶顯示技術的不斷進步，清洗工藝的地位也越來越重（chóng）要。以下是液晶顯示器的生（shēng）產流程簡（jiǎn）圖，我們可以（yǐ）從中（zhōng）看到清洗工（gōng）藝在整個工藝路線中的重要性。
 
ITO薄膜層、TFT陣列等製（zhì）備工藝過程以及玻璃（lí）基板的（de）包裝、搬運、運輸（shū）和存（cún）儲過程（chéng）是玻璃基板上的主要汙染程（chéng）序，其主要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂（zhī）等油，以及三氧化二鋁、二氧化矽等無（wú）機微粒和製備（bèi）過程中遺留的殘留物、水跡、手指（zhǐ）印等。在整個LCD的清洗過程中，業（yè）內針對上（shàng）述汙染物采（cǎi）用過不同的（de）清洗方法，一方麵是要去除玻璃（lí）基板上沾染的汙染物（wù），避免其對液晶顯示器的（de）性能造成不良的影響，而另一方麵也可以起到改善玻璃基板表麵（miàn）性能，增加其與加（jiā）工過程中使用的各種材料之間的親合力。
 
隨著液晶生產線對清洗工藝要求越（yuè）來越高，工程師們提出了將高壓水射流技（jì）術應用於（yú）玻（bō）璃基板清洗中的可能。在使用（yòng）常壓水噴淋清洗（xǐ）時，噴射到玻璃基板上的水在其高表麵張力的作用下，會在玻璃簡板表麵（miàn）形成一層水膜。水膜和混合基板表麵上的微細顆粒和其他汙垢，這（zhè）反而會對汙垢起到保護作用，後續的水則很（hěn）難將這層水膜衝破，因此會使清洗效率（lǜ）降低。而高壓（yā）水射（shè）流技術是一（yī）種新型的清洗技術，我們采用超高壓（yā）微（wēi）細顆粒水噴（pēn）射（shè）清（qīng）洗，將水形成大量的粒徑在幾微米到幾（jǐ）十微米（mǐ）的微細液滴，並以極高的速度和（hé）密度連續地噴射衝擊被清洗物表麵。由於這種微細顆粒的水滴不可能形成對汙垢有保護作用的水膜，因此對基板上的各種汙垢特別是微細顆粒汙垢（gòu）有很好的去除效果（guǒ）。

將高壓清洗（xǐ）機應用到玻璃基板的清洗工藝中，可通過將清（qīng）洗液加壓（yā）到100～300bar的壓力，再通過孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴射嘴噴出，形成高流速（sù）的微小液滴來清洗玻璃基板。實際應用表明，高壓清洗機的應用提高了常壓噴淋清洗的洗淨力，縮短了清洗線的長（zhǎng）度，並且節省了淨（jìng）化空間和DI水的使用（yòng）量。