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首頁 > 技術(shù)文章

電子級多(duō)晶矽還原爐鍾罩清洗係統

時間:2017-12-05     來源(yuán): 北京www.91潔清潔(jié)設備有(yǒu)限公(gōng)司(sī)

能源和環境問題日益成為(wéi)各(gè)方關注的焦點(diǎn),為了實現能源和環境的可持續發展,世界(jiè)各國都將太陽能發電行業作為發展的重。多晶矽還是信息產業(yè)和新能源(yuán)產業最基礎的原(yuán)材料,還原工藝是多晶矽生產(chǎn)的關鍵工藝和成品工藝,其工藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量(liàng)和產量。電(diàn)子級多晶矽(guī)生產工藝要求很高,要在“無油、無水、無塵”的環境下運行(háng)。
 
多晶矽
 
目前多晶矽生產多數(shù)采用改良西門子法,用來生產半導體行業電子級多晶矽;還原爐(lú)和氫化爐是改良西門子法(fǎ)生產多晶矽的核心設備,其運行好壞直接影響(xiǎng)多晶矽質量及生產成本。鍾罩清洗(xǐ)不幹淨、光潔度(dù)不夠,常常導致矽芯(xīn)擊不穿或產品質量(liàng)汙染,所以鍾罩清(qīng)洗(xǐ)設備對多晶矽生產非常重要。
 
經過多年來客戶的實際應用和需求,通過總結(jié)借鑒國內外經驗,www.91(gāo)潔對汙染和潔淨的概念和控製有了更全麵的認識,充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢,研發電子級多(duō)晶矽還原爐鍾罩(zhào)清洗係統。
 
www.91潔電子級多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗係統包(bāo)括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行(háng)機(jī)構、清(qīng)洗工作台、萬級淨化幹(gàn)燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等,係統實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。
 
www.91潔多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統
 
電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統特點:
 
1、多(duō)晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統以3D形式的網狀(zhuàng)噴射來完成爐筒內部表麵的水力掃射,加之萬級淨化幹(gàn)燥係統,完全滿足電子級多晶矽生產的需求(qiú)。
 
2、自動化程度高,清洗時隻(zhī)需一鍵操作即可,操作簡單方便。自動(dòng)控製係統能實現對還(hái)原爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹(gàn)時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以(yǐ)根據需要自行(háng)調整設定,同時具有(yǒu)半自(zì)動或手(shǒu)動功能。
 
3、在整(zhěng)個還原爐的清洗過程中,清洗、幹燥中筒內形成微負(fù)壓狀態,防止(zhǐ)清洗外溢,同時將底座與(yǔ)筒體下法蘭處的汙染物等一並吹(chuī)掃,通過排汙管排出,從而保(bǎo)證了整個過程(chéng)不會對潔淨區造成(chéng)汙(wū)染。全密閉式(shì)清洗烘幹係統,使汙染物(wù)(廢氣(qì)、廢水等)在受控的條件(jiàn)下,按設計出口排放,基本消除了對現場及操作人員的汙染。
 
4、www.91(gāo)潔電子級多晶矽鍾(zhōng)罩清洗(xǐ)係統性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進口。電子級多晶矽還原(yuán)爐鍾(zhōng)罩清洗係統(tǒng)的(de)適(shì)應範(fàn)圍廣,一套係統可以實現(xiàn)多種型號鍾罩(zhào)的清洗烘幹。
 
多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣,有高壓(yā)清(qīng)洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光(guāng)等,www.91潔多晶矽鍾罩清洗(xǐ)係統覆蓋了國內90%的多晶(jīng)矽(guī)企業(yè),為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。這套電子級多(duō)晶矽還原爐鍾罩清洗係統經過反複摸索求證,可根據不同(tóng)的鍾罩、不同車間廠房不同能源條件,提供個性化設計,節省了(le)人力物力,大大降低勞動強度,這也對提高多晶矽品質(zhì)產生重要意義(yì),取得了一(yī)定的經濟效益和社會效(xiào)益。
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  • 電子級(jí)多晶矽還(hái)原爐(lú)清洗
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