德(dé)高潔多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗(xǐ)係統成為首選清潔工藝

    時間(jiān):2016-04-27 14:17:06作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔(jié)設備分享到:QQ空間(jiān)新(xīn)浪微博騰訊微博人人網微信

    多晶(jīng)矽,是(shì)單質矽的一種形態(tài),多晶矽材料是光伏產業的基礎。在(zài)生(shēng)產中,還原爐(lú)每運行一個周期,其內表麵都會殘留(liú)無(wú)定形(xíng)矽,同時(shí)含有氯矽烷水解物及其(qí)他粉塵雜質。因此每運行一個周期需要采用清洗液,並根據殘留物分布情況對還原爐(lú)基盤和鍾罩分(fèn)別采用特(tè)定的清理工藝進行處理。還原工藝是多晶矽生產(chǎn)的關鍵工藝,其工藝(yì)條(tiáo)件和參數(shù)控製好(hǎo)壞直接影響產品質量(liàng)和產量。
     
    多晶矽矽棒

    多晶矽在整個生產過程中,對(duì)產品質量的(de)控製要求很高,對還(hái)原爐的沉積環境的潔(jié)淨度要求特別關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐內,都會對產品質(zhì)量造成影響。北京www.91潔清潔設備有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽自動(dòng)化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將(jiāng)多晶矽(guī)還(hái)原爐鍾罩清洗幹淨,滿足生產需求。

    www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高(gāo)壓清(qīng)洗機(jī)為主(zhǔ)機,以高壓水(shuǐ)射流為動力的自驅動三(sān)維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從(cóng)而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清洗劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水衝(chōng)洗,最終(zhōng)完成清洗過程。

    目前國內多晶矽鍾(zhōng)罩清洗方主要有高壓清洗(xǐ)、化學(xué)溶劑低壓清洗(xǐ)、機械(xiè)拋光等清洗方法,但www.91潔(jié)多晶矽還原爐鍾罩清洗係統更具特點:
     
    多晶矽還原爐鍾罩清洗前(qián)後對比

    1、核心部件高壓泵采(cǎi)用進口(kǒu)耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時(shí)三維旋轉噴頭可實現自驅動旋轉、自動升降、全方位自動清洗,並可保(bǎo)證多晶矽的純度;

    2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將(jiāng)清洗介質加(jiā)熱,從而(ér)改變原電加熱工藝;

    3、利用多晶(jīng)矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬級空氣(qì)淨化(huà)換(huàn)熱裝置代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝;

    4、北京www.91潔清潔設備有限公司自行(háng)研發設計(jì)的自驅動旋轉升降噴(pēn)射機構(gòu)可適(shì)應各規格的還原爐體;

    5、由(yóu)於清洗(xǐ)過程中會有(yǒu)氫氣和酸性物質產(chǎn)生,所以必須解決二次汙染問題。我公司(sī)自行設計的全封閉式清洗裝置可完(wán)美解決(jué)二次汙染;

    6、設計(jì)出高壓堿液(yè)和(hé)清水的供給和分開(kāi)回(huí)收裝置,並進行淨化使後序清洗(xǐ)水用於前(qián)序(xù)的漂洗工序,充分利用了廢水資(zī)源。

    還原(yuán)爐沉積多晶矽是間(jiān)歇操作,一個(gè)運行周期結束後需要打開鍾罩收(shōu)割矽棒,然後進行基盤清理,再裝矽芯進行下一個周期的化學氣(qì)相沉積。北京www.91潔清潔設(shè)備有限公司研(yán)發生產的多晶矽自(zì)動化還原爐(lú)鍾(zhōng)罩清洗係統(tǒng)有效解決了生產中的實際問題,方便、快捷、處理效果好,目(mù)前(qián)已成為多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清潔的首選。

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