改良西門子（zǐ）法多晶矽還原（yuán）爐鍾罩自動化清洗係統
時間：2022-09-23 15:11:00作者：LeeZhou來源：德（dé）高潔（jié）清（qīng）潔設備
隨著信息化技術和太陽能（néng）光伏產業的迅速（sù）發展，多晶矽作為集成電（diàn）路和太陽能光伏發電的基礎原材料，在國內外市場的需（xū）求量不斷增加（jiā），簡單來說，多晶矽可以用於製備單晶矽，其深加工產品（pǐn）廣泛用於半導體工業中，作為人（rén）工（gōng）智能、自動控製、信息處理、光矽轉換等器件的基礎（chǔ）材料。同時（shí），由於能源危機和環境保護的要求（qiú），全球正積極開發利用可再生能源，大陽能光伏發（fā）電作為可再生資源之一備受關（guān）注，突顯出（chū）著多晶矽在新能源中（zhōng）的重要性；由於多晶矽產品需求的多樣（yàng）化，對多晶矽純度的要求也大不相同，目前多晶矽可以分為（wéi）太（tài）陽能級多晶矽（光伏發電）、電子級多晶矽（半導體集（jí）成電路）、區熔級多晶矽（電子級多晶矽的更高端產品）。
改良西門子法被公認為是多晶矽提純可靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕大多數廠（chǎng）商采用，多晶矽還原爐作為改良西門（mén）子法（fǎ）生產多晶矽的核心設備，決（jué）定了係統產能、能耗、環保指標以及可靠性、安全性的關鍵（jiàn）因素。還（hái）原爐在生產過程中，由於還原爐內反應溫度（dù）較高，每一輪沉積反（fǎn）應後，在還原爐鍾（zhōng）罩內（nèi）壁粘附（fù）著一些雜質，根（gēn）據多晶矽生產原理及（jí）實際生產（chǎn）情況分析，鍾罩表麵主要汙染物為無定形矽粉（fěn），其次為多晶矽顆粒物、氯矽烷水解物及部分（fèn）粉塵雜質，這些雜質（zhì）不僅影響多（duō）晶矽的品質，還使鍾罩（zhào）內表麵的熱量反射減少，增加電耗，因此，為（wéi）保障還原爐鍾罩表麵的潔淨度（dù），必須對還原爐鍾罩進行清洗及烘幹作業。
以往，行業內普遍采用的方法是通過人工加化（huà）學（xué）藥劑（jì）的方式對還原爐鍾罩（zhào）進行清洗，清洗過程中，人工穿戴好防護服（fú），手持高壓水槍噴射到內壁上對附著物依（yī）次進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不幹淨的部位用酒精（jīng）擦拭，然後用高溫壓縮空氣進行烘幹。這種清洗方式，存在清洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的（de）缺陷。並且，還原鍾（zhōng）罩內會有（yǒu）各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人（rén）員帶來健康和安全風險（xiǎn），清洗時，稍有不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷（shāng）害。
為解決傳統人工清洗方式（shì）帶來的諸多危害，www.91潔自主研發並（bìng）曆經四代改進升級還原爐鍾罩高壓水自動化清洗係統，係統由低（dī）壓熱水清洗動力裝置、三（sān）維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工（gōng）作台（tái）、萬級（jí）淨化幹燥係統、循環過（guò）濾係統、控製裝置、微負壓（yā）係統、清洗工作台（tái）、電氣控製（zhì）係統等組成，能夠代替人工實現還原爐鍾罩的全自動清洗和烘（hōng）幹操作。解決還原爐鍾（zhōng）罩清理過程中存在的效率（lǜ）低、清理效果差、安全隱患（huàn）等問題，實現自動化高效（xiào）清（qīng）理的效果。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高壓清洗機（jī）為主機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高（gāo）壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並（bìng）采用專（zhuān）用清洗劑等為主要清洗液，先用脫鹽水預清洗再依（yī）次用溶液、脫鹽水漂洗，之後再采用高純水衝洗，從而完成清洗過程，清洗工藝（yì）完成（chéng）後，采用經過純淨空氣(萬級)烘幹加（jiā）熱（rè），達到工藝要求的幹燥度（dù）。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔（róu）性自動控製（zhì）係統，能實（shí）現（xiàn）對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘（hōng）幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工作（zuò）台上完成全部清洗、烘幹過程（chéng），可（kě）實現遠程對樓下設備的（de）控製和主要參數監控（kòng）。
全密閉式清（qīng）洗烘幹係統，有效防止清洗時高壓水射流噴射（shè）出鍾罩外，使汙染物(廢氣、廢水等（děng）)在受控（kòng）的條件下（xià），按設計出口排放，有效避免人員安全隱患及環境汙（wū）染事故，係統核心部件均為原裝進口，采用歐洲（zhōu）標準，保證（zhèng）了多晶矽鍾罩清（qīng）洗係統性能的可靠，可（kě）以在一（yī）套（tào）係統實現多種型號鍾罩的清（qīng）洗烘幹。
為了滿足多晶矽日益激增的市場（chǎng）需求，保障多晶矽生產質量，多（duō）晶矽企業除了在生（shēng）產能力和技術上有（yǒu）所提升之外，對（duì）多晶矽生產設（shè）備的潔（jié）淨度也不可忽視，如何實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，www.91潔多晶矽還原爐鍾罩自（zì）動化係統一直“靠實力說話”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝（yì）、自動（dòng）化技術等多方麵結合，為用（yòng）戶提供（gòng）一（yī）套安全、環（huán）保、高效、高質量的多（duō）晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前，www.91潔在（zài）多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多（duō）晶矽行（háng）業提供了幾十套還原爐清（qīng）洗係統。
改良西門子法被公認為是多晶矽提純可靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕大多數廠（chǎng）商采用，多晶矽還原爐作為改良西門（mén）子法（fǎ）生產多晶矽的核心設備，決（jué）定了係統產能、能耗、環保指標以及可靠性、安全性的關鍵（jiàn）因素。還（hái）原爐在生產過程中，由於還原爐內反應溫度（dù）較高，每一輪沉積反（fǎn）應後，在還原爐鍾（zhōng）罩內（nèi）壁粘附（fù）著一些雜質，根（gēn）據多晶矽生產原理及（jí）實際生產（chǎn）情況分析，鍾罩表麵主要汙染物為無定形矽粉（fěn），其次為多晶矽顆粒物、氯矽烷水解物及部分（fèn）粉塵雜質，這些雜質（zhì）不僅影響多（duō）晶矽的品質，還使鍾罩（zhào）內表麵的熱量反射減少，增加電耗，因此，為（wéi）保障還原爐鍾罩表麵的潔淨度（dù），必須對還原爐鍾罩進行清洗及烘幹作業。
以往，行業內普遍采用的方法是通過人工加化（huà）學（xué）藥劑（jì）的方式對還原爐鍾罩（zhào）進行清洗，清洗過程中，人工穿戴好防護服（fú），手持高壓水槍噴射到內壁上對附著物依（yī）次進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不幹淨的部位用酒精（jīng）擦拭，然後用高溫壓縮空氣進行烘幹。這種清洗方式，存在清洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的（de）缺陷。並且，還原鍾（zhōng）罩內會有（yǒu）各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人（rén）員帶來健康和安全風險（xiǎn），清洗時，稍有不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷（shāng）害。
為解決傳統人工清洗方式（shì）帶來的諸多危害，www.91潔自主研發並（bìng）曆經四代改進升級還原爐鍾罩高壓水自動化清洗係統，係統由低（dī）壓熱水清洗動力裝置、三（sān）維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工（gōng）作台（tái）、萬級（jí）淨化幹燥係統、循環過（guò）濾係統、控製裝置、微負壓（yā）係統、清洗工作台（tái）、電氣控製（zhì）係統等組成，能夠代替人工實現還原爐鍾罩的全自動清洗和烘（hōng）幹操作。解決還原爐鍾（zhōng）罩清理過程中存在的效率（lǜ）低、清理效果差、安全隱患（huàn）等問題，實現自動化高效（xiào）清（qīng）理的效果。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統是以高壓清洗機（jī）為主機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高（gāo）壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並（bìng）采用專（zhuān）用清洗劑等為主要清洗液，先用脫鹽水預清洗再依（yī）次用溶液、脫鹽水漂洗，之後再采用高純水衝洗，從而完成清洗過程，清洗工藝（yì）完成（chéng）後，采用經過純淨空氣(萬級)烘幹加（jiā）熱（rè），達到工藝要求的幹燥度（dù）。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔（róu）性自動控製（zhì）係統，能實（shí）現（xiàn）對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘（hōng）幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工作（zuò）台上完成全部清洗、烘幹過程（chéng），可（kě）實現遠程對樓下設備的（de）控製和主要參數監控（kòng）。
全密閉式清（qīng）洗烘幹係統，有效防止清洗時高壓水射流噴射（shè）出鍾罩外，使汙染物(廢氣、廢水等（děng）)在受控（kòng）的條件下（xià），按設計出口排放，有效避免人員安全隱患及環境汙（wū）染事故，係統核心部件均為原裝進口，采用歐洲（zhōu）標準，保證（zhèng）了多晶矽鍾罩清（qīng）洗係統性能的可靠，可（kě）以在一（yī）套（tào）係統實現多種型號鍾罩的清（qīng）洗烘幹。
為了滿足多晶矽日益激增的市場（chǎng）需求，保障多晶矽生產質量，多（duō）晶矽企業除了在生（shēng）產能力和技術上有（yǒu）所提升之外，對（duì）多晶矽生產設（shè）備的潔（jié）淨度也不可忽視，如何實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，www.91潔多晶矽還原爐鍾罩自（zì）動化係統一直“靠實力說話”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝（yì）、自動（dòng）化技術等多方麵結合，為用（yòng）戶提供（gòng）一（yī）套安全、環（huán）保、高效、高質量的多（duō）晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前，www.91潔在（zài）多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多（duō）晶矽行（háng）業提供了幾十套還原爐清（qīng）洗係統。
熱門搜索：
