多晶矽還原爐體及鍾罩幹（gàn）式清理係統

一、係統概述
 
多晶矽還原爐體及（jí）鍾罩幹式清理係統適用矽烷法多晶矽生產工（gōng）藝，用於還原車（chē）間反（fǎn）應釜中矽汙染物（wù）附著力不大的工況條件下無（wú）汙染幹式清洗。清（qīng）洗時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓氣（qì）體噴吹以及特殊旋轉刷組合機（jī）構近（jìn）距離對反應釜表麵進行噴（pēn）吹和接觸（chù）式清掃達到（dào）清洗的目的。通過清洗旋（xuán）轉（zhuǎn）調速機構可（kě）滿足各工（gōng）況的要求。清洗的同（tóng）時采用特殊除塵淨化器一次性進行（háng）除塵淨化。

二、係統特點

1、裝置為移動單元式結（jié）構；

2、淨化後的空氣可達到10萬級的淨化精度可完全在室內排放；

3、采用全封閉幹式的清洗方式確保對環（huán）境不出現二次（cì）汙染；

4、電氣設（shè）計按隔爆的各項要（yào）求（qiú）執行、 設備設有靜電導出裝置；

5、控製方式可為（wéi）全自動或（huò）手動控製；

6、運行總功（gōng）率（lǜ）小，噪聲低（dī）。
 
三、清掃工藝（yì）

反應釜吊裝至清洗台上→定位→連接→啟動淨化器→啟（qǐ）動旋轉→上下移動（dòng）機構（gòu）→高（gāo）壓氣體沿壁噴吹→旋轉刷至上而（ér）下接觸移動清掃→淨化氣體置換（huàn）→反應釜吊起→檢查。

四、設備組成（chéng）

主要由清洗平台（tái）、氣體噴吹裝置、吸（xī）塵輸送管道、控製閥（fá）門、動（dòng）力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器（qì）、電氣（qì）控製係統等組成。

主要部（bù）件采（cǎi）用進口零部件，確保運行可靠穩定（dìng）、使（shǐ）用（yòng）周期長。操作維修簡單。