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一（yī）、係統概述
多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係統適用矽烷法多晶矽生產工藝，用於還原（yuán）車間反（fǎn）應釜中矽汙染物附著（zhe）力不大（dà）的工況條件下無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動（dòng）和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近（jìn）距離對反應釜表麵進行（háng）噴吹和接觸式清掃達到（dào）清（qīng）洗的目的。通過清洗旋轉調速機構可滿足各工（gōng）況的要求。清洗（xǐ）的同（tóng）時采用特殊（shū）除塵淨化器（qì）一次性進行除塵淨化。
二、係統特點
1、裝置為移動單元式結構；
2、淨（jìng）化後的空氣可（kě）達到10萬級的淨化精度可完全在室內排放；
3、采用全封閉幹式的清洗方式確保對環境不出現二次汙染；
4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設（shè）有靜（jìng）電導出裝置（zhì）；
5、控製方式（shì）可為全（quán）自動（dòng）或手動控製；
6、運行總功率小，噪聲低。
三、清掃工藝
反應釜吊（diào）裝至清洗台上→定位→連接→啟動淨化器→啟動旋轉→上下移動機構→高壓氣體沿壁噴吹→旋轉刷至上而下接觸移（yí）動清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起（qǐ）→檢（jiǎn）查。
四、設備（bèi）組成
主（zhǔ）要由清（qīng）洗平台、氣體噴吹裝置（zhì）、吸塵輸送（sòng）管道、控製（zhì）閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器（qì）、電氣控製係統等組成（chéng）。
主（zhǔ）要（yào）部件采用進口零部件（jiàn），確保運行可靠（kào）穩定、使用周期長。操作維修簡單。
多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係統適用矽烷法多晶矽生產工藝，用於還原（yuán）車間反（fǎn）應釜中矽汙染物附著（zhe）力不大（dà）的工況條件下無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動（dòng）和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹以及特殊旋轉刷組合機構近（jìn）距離對反應釜表麵進行（háng）噴吹和接觸式清掃達到（dào）清（qīng）洗的目的。通過清洗旋轉調速機構可滿足各工（gōng）況的要求。清洗（xǐ）的同（tóng）時采用特殊（shū）除塵淨化器（qì）一次性進行除塵淨化。
二、係統特點
1、裝置為移動單元式結構；
2、淨（jìng）化後的空氣可（kě）達到10萬級的淨化精度可完全在室內排放；
3、采用全封閉幹式的清洗方式確保對環境不出現二次汙染；
4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設（shè）有靜（jìng）電導出裝置（zhì）；
5、控製方式（shì）可為全（quán）自動（dòng）或手動控製；
6、運行總功率小，噪聲低。
三、清掃工藝
反應釜吊（diào）裝至清洗台上→定位→連接→啟動淨化器→啟動旋轉→上下移動機構→高壓氣體沿壁噴吹→旋轉刷至上而下接觸移（yí）動清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起（qǐ）→檢（jiǎn）查。
四、設備（bèi）組成
主（zhǔ）要由清（qīng）洗平台、氣體噴吹裝置（zhì）、吸塵輸送（sòng）管道、控製（zhì）閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器（qì）、電氣控製係統等組成（chéng）。
主（zhǔ）要（yào）部件采用進口零部件（jiàn），確保運行可靠（kào）穩定、使用周期長。操作維修簡單。
