多(duō)晶硅还(hái)原炉体及钟罩干(gàn)式清理系统
德(dé)高洁多晶硅还原炉体及钟罩干式清理(lǐ)系(xì)统使用(yòng)时利用上(shàng)下移动和旋转机构带动高压气体喷吹以及(jí)特殊旋转刷组合机构近距离对(duì)反应釜表面进行喷吹和接(jiē)触式(shì)清扫达到(dào)清洗的目的。通过清洗旋转调速机构可(kě)满足各工况的要求。清洗的同时采用特殊除尘净化器一次性(xìng)进行(háng)除尘净化。[查看详情(qíng)]
自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清(qīng)洗(xǐ)系统
自动化高压水多晶硅还原炉钟罩清洗系(xì)统是www.91洁独立自主研发,其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转(zhuǎn)喷(pēn)头,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力(lì)扫射,用专用清(qīng)洗剂等为主要(yào)清洗(xǐ)液,用纯水(去离子(zǐ)水或叫(jiào)脱盐水)漂洗,用高纯水冲(chōng)洗,完成清洗过程。[查(chá)看详情]
010-64437473
多(duō)晶硅还(hái)原炉体及钟罩干(gàn)式清理系统