改良西門子法多（duō）晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係（xì）統
時間：2022-09-23 15:11:00作者：LeeZhou來（lái）源：www.91潔清潔設備
隨著信息化技術和太陽能光伏產（chǎn）業的迅速發展，多晶矽（guī）作為集成電路（lù）和太陽能光伏發電的基礎原（yuán）材料（liào），在國內外市場的需求量不斷增加，簡單來（lái）說，多晶矽可以用於製備單晶矽，其（qí）深加工產品廣泛用於半導體工業中，作為人工智能、自動控製、信息處理、光（guāng）矽轉換等器件的基礎（chǔ）材（cái）料（liào）。同時，由於能源危機和環境保護的要求，全球正積極開發利用可再生能源，大陽能光伏發（fā）電作為可再生資源之一備受關注，突顯出著多晶矽在新（xīn）能源中（zhōng）的重（chóng）要性；由於多晶（jīng）矽（guī）產品（pǐn）需（xū）求的多樣化，對（duì）多晶矽純度的要（yào）求也大不相同，目前多晶矽可以（yǐ）分為太陽能級多晶矽（光伏發電）、電（diàn）子級多晶矽（半導體集成電路）、區熔（róng）級多晶矽（電子級多晶矽的更高（gāo）端產（chǎn）品）。
改良西門子法（fǎ）被公認為是多（duō）晶矽提純可（kě）靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕大（dà）多數（shù）廠商采用，多晶矽還原爐作為改良西（xī）門子法生產多晶矽的核心設備，決定了係統產（chǎn）能、能耗、環保指標以及可靠性、安全性的關鍵因素。還原爐在生產過程中（zhōng），由於還（hái）原爐（lú）內反應溫度較（jiào）高，每一輪沉積反應後，在還原爐鍾罩內壁粘附著一些雜（zá）質，根據多（duō）晶矽生產原理及（jí）實際生產情（qíng）況分析，鍾罩表（biǎo）麵主要汙染物為無定形（xíng）矽粉，其次為多晶矽顆（kē）粒物、氯矽烷水解物及部分粉塵雜質，這些雜質不僅影響（xiǎng）多晶矽的品質，還使鍾罩內表麵的熱量（liàng）反射（shè）減少，增加電耗，因此，為保障還（hái）原爐鍾罩表麵的潔淨（jìng）度，必須對還原爐鍾罩進行清洗及（jí）烘幹作業。
以往，行業內普遍（biàn）采用的（de）方法是通過（guò）人工加化學（xué）藥劑的方式對還原爐鍾罩進行清洗，清洗過程中（zhōng），人工穿戴（dài）好防護服，手持高壓水槍噴射到內壁上對附著物依次進行純水清洗和清（qīng）洗液清洗，對部分清洗不（bú）幹淨的部位用酒精擦拭，然後用高溫壓縮空氣進行烘幹。這種清（qīng）洗方式，存在清洗（xǐ）效果不徹底、效（xiào）率低下、浪費人力的缺（quē）陷。並且，還原鍾罩內會有各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人員帶來健康和（hé）安全風險，清洗時，稍有（yǒu）不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷害（hài）。
為解決傳統人工清洗方（fāng）式帶來的諸多危害，www.91潔自主研發（fā）並曆經四代改進升級還原爐鍾罩高壓水自動化清洗係統，係統（tǒng）由低壓熱水清洗動力裝（zhuāng）置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作（zuò）台、萬（wàn）級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統（tǒng）、清洗工作台、電氣控製係統等組成，能夠代替人工實（shí）現還原（yuán）爐（lú）鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。解決還原爐鍾（zhōng）罩清理過程中存在（zài）的效率低、清理效果差、安全隱患等（děng）問（wèn）題，實現自動化高（gāo）效清理的效（xiào）果。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係統是以高壓清洗（xǐ）機為主機，以（yǐ）高壓水射流為動力的（de）自驅動三維旋（xuán）轉（zhuǎn）噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴（pēn）射表麵，從而完成鍾（zhōng）罩內部表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑（jì）等為主（zhǔ）要清洗液，先用脫鹽水預清（qīng）洗再依次用溶液、脫鹽水漂洗，之後再采用高純水衝洗，從而完成清洗過（guò）程，清洗工藝完成後，采用經過純淨空（kōng）氣(萬級)烘幹加熱，達（dá）到工藝要（yào）求的幹（gàn）燥度。
www.91潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係（xì）統自動化（huà）程度高（gāo），用PLC+觸（chù）摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘（hōng）幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗（xǐ）等工藝參數可以根據需要自行調（diào）整設定，同時具有半自動或手動功能，一（yī）次（cì）吊裝在一個工作台上完成全（quán）部清洗（xǐ）、烘（hōng）幹過程，可實現遠程對（duì）樓下設備的控製和主要參數監控。
全密閉式清（qīng）洗烘幹係統（tǒng），有效防止清洗時（shí）高壓水射流噴射出鍾罩外，使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件（jiàn）下，按設計出口排放，有效避免人員安全隱患及環境汙染（rǎn）事故，係統核心部（bù）件均為（wéi）原裝進口，采用歐洲標準，保證了多晶矽鍾罩清洗係統性能的可（kě）靠，可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。
為了滿足多晶矽日益激增的市場（chǎng）需求，保障多晶矽生產質量，多晶（jīng）矽企（qǐ）業（yè）除（chú）了在生產能力（lì）和技術（shù）上有（yǒu）所提升之外，對多晶矽生產設備的潔（jié）淨度也不可忽視，如何實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，www.91潔多晶矽還原爐鍾罩自動化（huà）係（xì）統（tǒng）一直（zhí）“靠實力（lì）說話（huà）”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝、自（zì）動化技術（shù）等多方麵結合，為用戶提供一套安全、環保、高效、高質量的多（duō）晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前，www.91潔在多晶矽還原爐清洗（xǐ）行（háng）業已（yǐ）擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。
改良西門子法（fǎ）被公認為是多（duō）晶矽提純可（kě）靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕大（dà）多數（shù）廠商采用，多晶矽還原爐作為改良西（xī）門子法生產多晶矽的核心設備，決定了係統產（chǎn）能、能耗、環保指標以及可靠性、安全性的關鍵因素。還原爐在生產過程中（zhōng），由於還（hái）原爐（lú）內反應溫度較（jiào）高，每一輪沉積反應後，在還原爐鍾罩內壁粘附著一些雜（zá）質，根據多（duō）晶矽生產原理及（jí）實際生產情（qíng）況分析，鍾罩表（biǎo）麵主要汙染物為無定形（xíng）矽粉，其次為多晶矽顆（kē）粒物、氯矽烷水解物及部分粉塵雜質，這些雜質不僅影響（xiǎng）多晶矽的品質，還使鍾罩內表麵的熱量（liàng）反射（shè）減少，增加電耗，因此，為保障還（hái）原爐鍾罩表麵的潔淨（jìng）度，必須對還原爐鍾罩進行清洗及（jí）烘幹作業。
以往，行業內普遍（biàn）采用的（de）方法是通過（guò）人工加化學（xué）藥劑的方式對還原爐鍾罩進行清洗，清洗過程中（zhōng），人工穿戴（dài）好防護服，手持高壓水槍噴射到內壁上對附著物依次進行純水清洗和清（qīng）洗液清洗，對部分清洗不（bú）幹淨的部位用酒精擦拭，然後用高溫壓縮空氣進行烘幹。這種清（qīng）洗方式，存在清洗（xǐ）效果不徹底、效（xiào）率低下、浪費人力的缺（quē）陷。並且，還原鍾罩內會有各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人員帶來健康和（hé）安全風險，清洗時，稍有（yǒu）不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷害（hài）。
為解決傳統人工清洗方（fāng）式帶來的諸多危害，www.91潔自主研發（fā）並曆經四代改進升級還原爐鍾罩高壓水自動化清洗係統，係統（tǒng）由低壓熱水清洗動力裝（zhuāng）置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作（zuò）台、萬（wàn）級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統（tǒng）、清洗工作台、電氣控製係統等組成，能夠代替人工實（shí）現還原（yuán）爐（lú）鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。解決還原爐鍾（zhōng）罩清理過程中存在（zài）的效率低、清理效果差、安全隱患等（děng）問（wèn）題，實現自動化高（gāo）效清理的效（xiào）果。
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www.91潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係（xì）統自動化（huà）程度高（gāo），用PLC+觸（chù）摸屏柔性自動控製係統，能實現對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘（hōng）幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗（xǐ）等工藝參數可以根據需要自行調（diào）整設定，同時具有半自動或手動功能，一（yī）次（cì）吊裝在一個工作台上完成全（quán）部清洗（xǐ）、烘（hōng）幹過程，可實現遠程對（duì）樓下設備的控製和主要參數監控。
全密閉式清（qīng）洗烘幹係統（tǒng），有效防止清洗時（shí）高壓水射流噴射出鍾罩外，使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件（jiàn）下，按設計出口排放，有效避免人員安全隱患及環境汙染（rǎn）事故，係統核心部（bù）件均為（wéi）原裝進口，采用歐洲標準，保證了多晶矽鍾罩清洗係統性能的可（kě）靠，可以在一套係統實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。
為了滿足多晶矽日益激增的市場（chǎng）需求，保障多晶矽生產質量，多晶（jīng）矽企（qǐ）業（yè）除（chú）了在生產能力（lì）和技術（shù）上有（yǒu）所提升之外，對多晶矽生產設備的潔（jié）淨度也不可忽視，如何實現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，www.91潔多晶矽還原爐鍾罩自動化（huà）係（xì）統（tǒng）一直（zhí）“靠實力（lì）說話（huà）”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝、自（zì）動化技術（shù）等多方麵結合，為用戶提供一套安全、環保、高效、高質量的多（duō）晶矽還原爐鍾罩自動化清洗解決方案。目前，www.91潔在多晶矽還原爐清洗（xǐ）行（háng）業已（yǐ）擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。
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