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多晶矽還原爐鍾罩清洗係統
多晶矽還(hái)原爐(lú)鍾罩清洗係統是以高壓水(shuǐ)射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用專用清洗劑等為主要(yào)清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝洗,完成(chéng)清洗(xǐ)過程。
多晶矽還原爐鍾罩自動清洗烘幹係統 Bell jar cleaning system
■適用範圍
西(xī)門子法多晶矽還原爐鍾罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘幹。
■工作原理
以高(gāo)壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭,形成(chéng)360°的網(wǎng)狀噴射表麵(miàn),完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用(yòng)專用清洗劑等為主要清(qīng)洗(xǐ)液,用純水(shuǐ)(去(qù)離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝洗,完成清洗過程。
用經(jīng)過三級淨化(10萬級)的純淨空氣(qì),梯級加熱,保證烘幹完的鍾(zhōng)罩不再(zài)結(jié)露,可直接進入生產作業。
■係(xì)統特點
1)技術能力強,設計合理,根(gēn)據(jù)客(kè)戶需求,總結(jié)借鑒(jiàn)國內(nèi)外還原爐鍾罩及其它罐類清洗烘幹經驗,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除(chú)塵的技術優勢(shì),設計(jì)出本套係統,實現了還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作(zuò)。可根據使用方不同還原爐鍾罩(zhào)、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設計。
2)設備性能可靠,核心部件、元件和附件原(yuán)裝進口。
3)自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控製(zhì)係統,實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手動功能。
4)適應範圍廣:可以在一套(tào)係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。
5)節能、環保、安(ān)全(quán):提供了預熱(餘熱蒸汽、餘熱水或油)加熱清洗水及幹燥空氣的方案。全密閉式清洗烘幹係統,基本消除了(le)對現場及操作人員的汙染。
6)www.91潔集團在北京(jīng)、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有(yǒu)分公司及辦事處。服(fú)務體係網絡健全,零配件充足。
■工作流程
還原爐鍾罩到位—預清洗—清(qīng)洗(xǐ)劑(堿液)清洗(xǐ)—漂洗—高純水衝洗—淨化熱空氣幹燥—常溫幹燥—鍾(zhōng)罩吊走。
注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有直接影響,這方麵我公司積累了豐富的實踐經驗(yàn)解決閃爆等問(wèn)題。
■基礎條件
1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控製櫃。
2)蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。
3)壓縮空氣:不小於流量3NM3/h,壓力0.6-0.75Mpa(G)(氣(qì)動閥、氣缸用氣), 指定接口點。
4)脫鹽水:可提供條件,不小於100L/min,到指定接口點。
5)純水:不小於 100L/min,到指定(dìng)接點。
6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小於(yú)2立方米(mǐ)。
7)占地麵積:36-80平米(寬約6-7米,長6-12米
8)三廢處理:洗滌後的含酸或堿液廢水(shuǐ)、廢渣(zhā),排放到需方指定處,由需(xū)方自行處理(lǐ),配排汙水(池、槽)溝;清洗和烘幹產生的廢氣做室外排空排放。
■設備組成
1)高壓熱水清洗(xǐ)動力裝置1套
由高壓熱水清洗機及附件(jiàn)(1套(tào)),高壓水自驅動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升(shēng)降(jiàng)裝置(氣動,1套)組成(chéng)。
2)熱風淨化烘幹機組(zǔ)1套
進風淨化等級:10萬級。
3)清洗烘幹工作台及管道1套
4)電氣控(kòng)製係統1套(tào)。
采用PLC+觸摸屏全自動控製,全套www.91潔版控製軟件。
注:水和風的加熱方式:電加熱,蒸汽、餘熱水或油的熱交換器換熱(rè)。










