悶聲幹大事!www.91潔開啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新(xīn)紀元!
時間:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou來源:www.91潔清潔設備
電子級多晶矽是我國發展集成電路產業的戰略原材料,長期以來,生(shēng)產技術一直由國外壟斷,成為中國發展(zhǎn)集成電路(lù)產(chǎn)業的瓶頸。隨著國內企業的不斷努力,近年來國內電子級多(duō)晶矽迎頭趕上,擺(bǎi)脫國外進口依賴,在質量(liàng)、產量、出口等方麵取得不錯成績,未來,中國(guó)多晶矽生產在(zài)全球市(shì)場具有良好的發展前景。
由(yóu)於電子級多晶矽高純度的規格,為達到生產要求(qiú),企(qǐ)業不僅在生產工藝、生產設備上不斷升級,為確保電子級多(duō)晶矽質量不受更多外在因素影響,對生產環境也近(jìn)乎達到苛刻(kè)的要求(qiú),目(mù)前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備,是(shì)影響多晶(jīng)矽生產和產能的關鍵因素,任何顆粒性雜質、物料等物質餘留在爐內,都會對產品質量造成影響。
在多晶矽生產(chǎn)過程中,多(duō)晶矽(guī)還原爐鍾(zhōng)罩內壁會被高溫混合氣體燒黑,表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯(lǜ)聚物等雜物,導致還原爐內表(biǎo)麵粗糙不平(píng)等,影響生產質量、良品率低、生產成本上(shàng)升、生產效(xiào)率下(xià)降,所以在(zài)還原爐運行一個周期結(jié)束後(hòu),必須對還原鍾罩內部進行清(qīng)洗(xǐ),確保(bǎo)電子級多晶矽在高(gāo)純環(huán)境下生產。

www.91(gāo)潔作(zuò)為(wéi)一家專業(yè)的環保設備供應商,早在2009年就(jiù)研發出多晶矽還原爐清洗(xǐ)係統,並經過對客戶的實際應(yīng)用和需求,充分發揮高(gāo)壓水清洗和吸除塵的技術優勢(shì),完成了電子級多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩清洗係統研發,近年來,德(dé)高潔(jié)緊跟多晶矽行業生產腳步,技術也在不斷升級更新,一直保持(chí)前沿清洗技術,為多晶矽廠商提供與電子級多晶(jīng)矽生產技(jì)術並駕齊驅配套清洗解(jiě)決方案,旨為電子級多晶矽的高純度生產助力。
www.91潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低(dī)壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電(diàn)氣控製係統等,係統核心部件、元件和附件原裝進口,在(zài)確保係統運行穩定可靠前提下,完成對電子級多晶矽還(hái)原爐(lú)鍾罩(zhào)的全自動清洗和烘幹操作。
係(xì)統以高壓水射流為動力驅動三(sān)維洗罐器,形成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用氫(qīng)氧化鈉溶液等為主要清(qīng)洗液,用純水漂洗(xǐ),用(yòng)高(gāo)純水衝洗完成清洗過程;隨後用經過三級淨化(10萬級)的純(chún)淨空氣,加熱後(50~80℃)烘幹加(jiā)熱鍾罩,再逐步(bù)降溫到常溫,通過(guò)連續(xù)幹燥(zào),完成幹燥過程。

全密閉(bì)式清洗烘幹係統,使汙(wū)染物(廢氣、廢水等(děng))在受控的條件下,按設計出口排放,基(jī)本消除(chú)了對環境境汙染及現場操作(zuò)人員的(de)安全(quán)隱患。係統加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺(quē)水保護,超壓保(bǎo)護、漏(lòu)電保護,水風工作互鎖等),確保安全運行。
www.91潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化程度高(gāo),采用PLC+觸摸(mō)屏柔性自動控製(zhì)係統(tǒng),能實現對還原爐鍾罩的自動清洗(xǐ)和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以(yǐ)根(gēn)據需要自行調整設定(dìng),同(tóng)時具有半自動或手動功能,一次(cì)吊裝在(zài)一個工作台上完成全部清洗、烘(hōng)幹過程,可(kě)實現(xiàn)遠程(chéng)對樓下設備的控製和主要(yào)參(cān)數監控。

除此之外,德(dé)高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係(xì)統可根據客戶需(xū)求,結合廠商使用的不同鍾罩、車間廠房的情況,能(néng)源條件不同,提供(gòng)個(gè)性化設計。目前,www.91潔在多晶(jīng)矽還(hái)原爐清洗行業(yè)已擁有國(guó)內90%的用(yòng)戶,為多晶矽行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗係統。
www.91潔成立(lì)於1994年,在環(huán)保除(chú)塵、淨化成套裝備(bèi)、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經(jīng)驗(yàn),期間自主研發並生產(chǎn)了一係列(liè)高壓清洗機(120~2800bar)、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器人等,公司(sī)擁有20餘人研發團隊,旗下部署工藝組、技術組(zǔ)、質檢組,實時管控產品性能、質量,並通過ISO9001質量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資、上市公司等500強企業,www.91潔將繼續以客戶需求為基準,用(yòng)現代技術、標準工藝,竭誠為客戶服(fú)務。
由(yóu)於電子級多晶矽高純度的規格,為達到生產要求(qiú),企(qǐ)業不僅在生產工藝、生產設備上不斷升級,為確保電子級多(duō)晶矽質量不受更多外在因素影響,對生產環境也近(jìn)乎達到苛刻(kè)的要求(qiú),目(mù)前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備,是(shì)影響多晶(jīng)矽生產和產能的關鍵因素,任何顆粒性雜質、物料等物質餘留在爐內,都會對產品質量造成影響。
在多晶矽生產(chǎn)過程中,多(duō)晶矽(guī)還原爐鍾(zhōng)罩內壁會被高溫混合氣體燒黑,表麵沉積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高矽氯(lǜ)聚物等雜物,導致還原爐內表(biǎo)麵粗糙不平(píng)等,影響生產質量、良品率低、生產成本上(shàng)升、生產效(xiào)率下(xià)降,所以在(zài)還原爐運行一個周期結(jié)束後(hòu),必須對還原鍾罩內部進行清(qīng)洗(xǐ),確保(bǎo)電子級多晶矽在高(gāo)純環(huán)境下生產。

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係(xì)統以高壓水射流為動力驅動三(sān)維洗罐器,形成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用氫(qīng)氧化鈉溶液等為主要清(qīng)洗液,用純水漂洗(xǐ),用(yòng)高(gāo)純水衝洗完成清洗過程;隨後用經過三級淨化(10萬級)的純(chún)淨空氣,加熱後(50~80℃)烘幹加(jiā)熱鍾罩,再逐步(bù)降溫到常溫,通過(guò)連續(xù)幹燥(zào),完成幹燥過程。

全密閉(bì)式清洗烘幹係統,使汙(wū)染物(廢氣、廢水等(děng))在受控的條件下,按設計出口排放,基(jī)本消除(chú)了對環境境汙染及現場操作(zuò)人員的(de)安全(quán)隱患。係統加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺(quē)水保護,超壓保(bǎo)護、漏(lòu)電保護,水風工作互鎖等),確保安全運行。
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除此之外,德(dé)高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係(xì)統可根據客戶需(xū)求,結合廠商使用的不同鍾罩、車間廠房的情況,能(néng)源條件不同,提供(gòng)個(gè)性化設計。目前,www.91潔在多晶(jīng)矽還(hái)原爐清洗行業(yè)已擁有國(guó)內90%的用(yòng)戶,為多晶矽行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗係統。
www.91潔成立(lì)於1994年,在環(huán)保除(chú)塵、淨化成套裝備(bèi)、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經(jīng)驗(yàn),期間自主研發並生產(chǎn)了一係列(liè)高壓清洗機(120~2800bar)、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器人等,公司(sī)擁有20餘人研發團隊,旗下部署工藝組、技術組(zǔ)、質檢組,實時管控產品性能、質量,並通過ISO9001質量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資、上市公司等500強企業,www.91潔將繼續以客戶需求為基準,用(yòng)現代技術、標準工藝,竭誠為客戶服(fú)務。
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