多晶矽還（hái）原爐體及鍾罩（zhào）幹（gàn）式清理係（xì）統

一、係統概述
 
多晶矽還原爐體（tǐ）及鍾罩幹式清理係統適用矽烷法多晶矽生產（chǎn）工藝，用於還原車間反應釜中矽汙染物附著力不大的工況（kuàng）條件（jiàn）下無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動和旋轉機構（gòu）帶（dài）動高壓氣體噴吹以及特殊（shū）旋轉刷組合機構近距離對反應（yīng）釜表麵進行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的。通過（guò）清洗旋轉調速機構可滿足各工況的要求。清洗的同時采用特殊除塵淨化器一次性進行除塵淨化。

二、係統特點（diǎn）

1、裝置為移動單元式結構；

2、淨化後的空氣可達到10萬級的淨化精度可完全在（zài）室內排放；

3、采用全（quán）封閉（bì）幹式的清洗方式（shì）確保對環境不出現二次汙染；

4、電氣設計按隔爆的各項要求執行、 設備設有（yǒu）靜（jìng）電導出裝置；

5、控製方式可為全自動或手動控製；

6、運行總功（gōng）率小（xiǎo），噪聲低。
 
三、清（qīng）掃工藝

反應釜吊裝至清洗（xǐ）台上（shàng）→定位→連（lián）接→啟動淨化器→啟動旋轉→上下移動機構→高壓氣（qì）體沿壁噴吹→旋轉刷至上（shàng）而下接觸移動清掃→淨化氣體置換→反應釜吊起→檢查。

四、設（shè）備組成

主要由清洗平台、氣體噴吹裝置、吸塵輸送管道、控（kòng）製閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器、電氣控製係統等組成。

主要部（bù）件采用進口零部件，確（què）保運行可靠穩定、使用周期長。操作維修簡單。