悶聲幹大事！www.91潔開啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新紀元！
時間（jiān）：2023-03-06 17:05:00作者：LeeZhou來源：www.91潔清潔設備
電子級多晶（jīng）矽是我國發展集成電路產業的戰略原（yuán）材料，長期以來，生產技術一直由國外壟斷，成為中國（guó）發展集成電路產業的瓶頸。隨著國內企業的不斷努力，近年來國（guó）內電子級多晶矽迎頭趕上，擺脫國外進口（kǒu）依賴，在質量、產量、出口等方麵取得不錯成績，未來，中國多（duō）晶矽生產在全（quán）球市（shì）場具有良好的發展（zhǎn）前景。
由於電（diàn）子級（jí）多（duō）晶（jīng）矽高純度的規格，為達（dá）到生產要求，企業不僅在生產工藝（yì）、生產設備上不斷升級，為確保電子（zǐ）級（jí）多晶矽質量不受更（gèng）多外在因素影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶矽生產的主流方（fāng）式是西門子改良法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因（yīn）素，任（rèn）何顆粒性雜質、物料等物質餘留在爐內，都（dōu）會對產品質量造成影響。
在（zài）多晶（jīng）矽生產過程中，多晶矽還原（yuán）爐鍾罩內（nèi）壁會被（bèi）高溫混合氣體燒黑，表麵沉（chén）積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高（gāo）矽氯（lǜ）聚物等雜物，導（dǎo）致還原爐內表麵粗糙不平等，影響生產（chǎn）質量、良品率低、生產（chǎn）成本上升、生產效（xiào）率下降，所以（yǐ）在還原爐（lú）運行一個周期（qī）結束後，必須對還原（yuán）鍾罩內部（bù）進行清（qīng）洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
www.91潔作為一家專業的環保設備供應商，早（zǎo）在2009年就研（yán）發出多晶矽還原爐清（qīng）洗係統，並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢（shì），完成了電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統研發，近年來，www.91潔緊跟多晶矽行業生（shēng）產腳步，技術也在不斷升級更新，一（yī）直保持前沿清洗（xǐ）技術（shù），為多（duō）晶（jīng）矽（guī）廠商提供（gòng）與電子級多晶矽生產技術並駕齊驅（qū）配套清洗解決方案，旨為（wéi）電子級多晶矽的高純度生產助力。
www.91潔（jié）電子（zǐ）級多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗係統包（bāo）括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器（qì）、旋轉和（hé）升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置（zhì）、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統核心部件、元（yuán）件和附件（jiàn）原裝（zhuāng）進口，在確保係統運行（háng）穩定可靠前（qián）提下（xià），完成對電子級多晶矽還原（yuán）爐鍾罩的全自動清洗（xǐ）和烘幹操作。
係統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐器，形成360°的網狀噴射表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫（qīng）氧化鈉溶液等為主要清洗液，用純水漂（piāo）洗，用高純水（shuǐ）衝（chōng）洗完成清洗過程；隨後用（yòng）經過三（sān）級淨化(10萬級)的純淨（jìng）空氣，加熱後（50~80℃）烘幹加熱鍾罩，再逐步降溫到常溫，通過連續幹燥，完成幹燥過（guò）程。
全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對環境境汙染及現（xiàn）場操作人員的（de）安全隱患。係統加多處安全互鎖功（gōng）能（樓上、樓下操作，缺水（shuǐ）保護，超壓保護、漏電保護，水風（fēng）工作互鎖等），確保安全運行。
www.91潔電子級多晶矽鍾罩清（qīng）洗係統自動（dòng）化程度高，采（cǎi）用PLC+觸摸（mō）屏柔性自動控製係（xì）統，能實現對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工（gōng）藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具（jù）有半自動或手（shǒu）動功能，一（yī）次吊裝在一個工作台上完成全部（bù）清洗、烘幹過程，可實（shí）現（xiàn）遠程對樓下設備（bèi）的控製和主要參數監（jiān）控。
除此之外，www.91潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統可根據客戶需求，結合廠商使用的不同鍾罩、車間廠（chǎng）房的情況（kuàng），能源條件（jiàn）不同，提（tí）供個性化設計。目前，www.91潔在（zài）多晶矽還原爐清洗行（háng）業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業（yè）提（tí）供了幾十套還原爐清洗係統。
www.91潔成立於1994年，在環保除（chú）塵、淨化成套裝備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經驗，期間自主研發並（bìng）生產了一係列高壓清洗機（120~2800bar）、自動化清洗係統、智能清洗（xǐ）爬壁機器人等，公司擁有20餘人研發團隊，旗下（xià）部署工藝（yì）組、技術組、質檢組，實時管（guǎn）控產品性能、質量，並（bìng）通過ISO9001質量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資、上市公司等500強企（qǐ）業，www.91潔將繼續以客戶需求為基準，用現代技術、標（biāo）準工藝，竭誠為客戶服務。
由於電（diàn）子級（jí）多（duō）晶（jīng）矽高純度的規格，為達（dá）到生產要求，企業不僅在生產工藝（yì）、生產設備上不斷升級，為確保電子（zǐ）級（jí）多晶矽質量不受更（gèng）多外在因素影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶矽生產的主流方（fāng）式是西門子改良法，還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備，是影響多晶矽生產和產能的關鍵因（yīn）素，任（rèn）何顆粒性雜質、物料等物質餘留在爐內，都（dōu）會對產品質量造成影響。
在（zài）多晶（jīng）矽生產過程中，多晶矽還原（yuán）爐鍾罩內（nèi）壁會被（bèi）高溫混合氣體燒黑，表麵沉（chén）積一定厚度的多晶矽、無定型矽、高（gāo）矽氯（lǜ）聚物等雜物，導（dǎo）致還原爐內表麵粗糙不平等，影響生產（chǎn）質量、良品率低、生產（chǎn）成本上升、生產效（xiào）率下降，所以（yǐ）在還原爐（lú）運行一個周期（qī）結束後，必須對還原（yuán）鍾罩內部（bù）進行清（qīng）洗，確保電子級多晶矽在高純環境下生產。
www.91潔作為一家專業的環保設備供應商，早（zǎo）在2009年就研（yán）發出多晶矽還原爐清（qīng）洗係統，並經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢（shì），完成了電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統研發，近年來，www.91潔緊跟多晶矽行業生（shēng）產腳步，技術也在不斷升級更新，一（yī）直保持前沿清洗（xǐ）技術（shù），為多（duō）晶（jīng）矽（guī）廠商提供（gòng）與電子級多晶矽生產技術並駕齊驅（qū）配套清洗解決方案，旨為（wéi）電子級多晶矽的高純度生產助力。
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係統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐器，形成360°的網狀噴射表（biǎo）麵，完成鍾罩內部表麵的水力掃射，用氫（qīng）氧化鈉溶液等為主要清洗液，用純水漂（piāo）洗，用高純水（shuǐ）衝（chōng）洗完成清洗過程；隨後用（yòng）經過三（sān）級淨化(10萬級)的純淨（jìng）空氣，加熱後（50~80℃）烘幹加熱鍾罩，再逐步降溫到常溫，通過連續幹燥，完成幹燥過（guò）程。
全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對環境境汙染及現（xiàn）場操作人員的（de）安全隱患。係統加多處安全互鎖功（gōng）能（樓上、樓下操作，缺水（shuǐ）保護，超壓保護、漏電保護，水風（fēng）工作互鎖等），確保安全運行。
www.91潔電子級多晶矽鍾罩清（qīng）洗係統自動（dòng）化程度高，采（cǎi）用PLC+觸摸（mō）屏柔性自動控製係（xì）統，能實現對還原爐鍾罩的自動（dòng）清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工（gōng）藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具（jù）有半自動或手（shǒu）動功能，一（yī）次吊裝在一個工作台上完成全部（bù）清洗、烘幹過程，可實（shí）現（xiàn）遠程對樓下設備（bèi）的控製和主要參數監（jiān）控。
除此之外，www.91潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統可根據客戶需求，結合廠商使用的不同鍾罩、車間廠（chǎng）房的情況（kuàng），能源條件（jiàn）不同，提（tí）供個性化設計。目前，www.91潔在（zài）多晶矽還原爐清洗行（háng）業已擁有國內90%的用戶，為多晶矽行業（yè）提（tí）供了幾十套還原爐清洗係統。
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