闷声干大事!www.91洁开启(qǐ)电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统新纪元!

    时间:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou来源:www.91洁清洁(jié)设备(bèi)分享到:QQ空(kōng)间新浪微博腾讯微博人人(rén)网微信

    电子(zǐ)级多晶硅是我国发展集成电路产业的战(zhàn)略原材料,长(zhǎng)期(qī)以来,生产技(jì)术一直(zhí)由国外垄断(duàn),成为中国发展(zhǎn)集成电路产业的瓶颈。随着国内企业的不断努力,近年来国内电子级多晶硅迎头赶上,摆脱国外进口依赖,在质量、产量、出口等方面取得不错成绩(jì),未来,中国多晶硅生产(chǎn)在全(quán)球市场具有良好的发展前景。

    由于电子级多晶硅(guī)高纯度的(de)规格,为达(dá)到生产要求,企业不仅在生产(chǎn)工艺、生产设备上不断升级,为确保电子级多晶硅质量不受更多外在因素影响,对生产环境也近乎达到苛刻的要求,目(mù)前电子级多(duō)晶硅生产的主流方式是西门子改良法,还原炉作为改良西门(mén)子法生(shēng)产多晶硅的核心设备,是影(yǐng)响多晶硅生产和产能的关(guān)键因素,任何颗粒性杂质、物料等物质余留在炉内,都会对(duì)产品质量造(zào)成影响。

    在多(duō)晶硅生产过程(chéng)中,多晶硅还原炉钟罩内壁会被高温混(hún)合气体烧黑,表面沉积一定厚度的多晶硅、无定型硅(guī)、高硅氯聚物等杂物,导致还原炉内表面粗糙不平等,影响生产质量、良品率低(dī)、生产成本上升、生产效率下降,所以在还原炉运行一个周期结束后,必须对(duì)还原钟罩内部进行清洗,确保电子级多晶硅在高纯环境下生产。
     
    www.91洁电子级多晶硅还原炉钟罩清(qīng)洗系统

    www.91洁作为一家专业的环保设备供应商,早在2009年就研发出多晶硅还(hái)原炉清洗系统,并经过对客户的实际应用和需求,充分发(fā)挥高压水清洗和吸除尘的技术优势,完成了电子级(jí)多晶硅还原炉钟罩清洗系统研发,近年来,德(dé)高洁紧跟多晶硅行业生产脚步,技术也在不断升级更新,一直保持前(qián)沿清洗技术,为多晶硅厂商(shāng)提供与(yǔ)电(diàn)子级多晶硅生产技术并驾齐驱配套(tào)清洗解决方案,旨为电子级多晶硅的高纯度生产助力。

    www.91洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统(tǒng)包括低压热水清洗(xǐ)动(dòng)力装置、三(sān)维洗罐器、旋转(zhuǎn)和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等,系统核心部件、元件和附(fù)件原(yuán)装进口,在确保系统运行稳定可靠前提下,完成对电子级多晶硅还原炉钟罩(zhào)的全自动(dòng)清洗和烘干操作。

    系统以高压水射(shè)流为动力驱(qū)动三(sān)维洗罐器,形成360°的网状喷射表(biǎo)面,完成钟罩(zhào)内部表(biǎo)面的水(shuǐ)力(lì)扫射,用氢氧化钠溶液(yè)等(děng)为主要清洗液,用纯水(shuǐ)漂洗,用高(gāo)纯水(shuǐ)冲洗完成清洗过(guò)程(chéng);随(suí)后用经过三级净化(10万级)的(de)纯净空气,加热后(50~80℃)烘干加热钟(zhōng)罩(zhào),再逐(zhú)步降(jiàng)温到常温,通过连续干燥,完(wán)成干燥过程。
     
    高压水清洗(xǐ)执行机(jī)构工作(zuò)状(zhuàng)态

    全密闭式清洗(xǐ)烘干系统,使(shǐ)污染物(废气、废水等(děng))在受(shòu)控的条件下,按设计出口排放,基本(běn)消除了对环境境污染及现场操作人员的安全隐患。系(xì)统加(jiā)多处安全互锁功能(楼上、楼下操作,缺水保护,超压保护、漏电保护,水风工作互锁等),确保安全运行。

    www.91洁电(diàn)子级多晶硅钟罩清洗系统自动化程度高,采用PLC+触摸屏柔性自动控制系统(tǒng),能实现对还原炉钟罩的(de)自动清洗和烘干,清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可(kě)以根据需(xū)要自(zì)行调整设定,同(tóng)时具有半自动或手动功能,一次吊装在一个(gè)工作台上完成全部清洗、烘(hōng)干(gàn)过(guò)程,可实现远程对楼下设(shè)备的控制和主要参数监控。
     
    电子级(jí)多晶硅还原炉钟罩清洗(xǐ)系统控制装置

    除(chú)此之外,www.91(gāo)洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统可根(gēn)据客户(hù)需(xū)求(qiú),结合厂商使用的不同钟罩、车间(jiān)厂房的(de)情况,能源条件不同,提供个性(xìng)化设计(jì)。目前,德(dé)高洁在多晶硅还原炉清洗(xǐ)行(háng)业已拥有国内90%的用户,为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。

    www.91洁成立于1994年,在环保除尘、净化成套装备、工业设备清洁领域已积累了近三十年的业内宝贵经验,期(qī)间自主研发并生产了一系列高压清洗机(jī)(120~2800bar)、自动化清洗系统、智能清洗爬壁机器人等,公司拥(yōng)有20余人研(yán)发(fā)团队,旗下部署(shǔ)工艺组、技术组、质检(jiǎn)组,实时管控产品性能、质量,并通过ISO9001质量体系认证。长期服务于国企、军(jun1)工、外资、上市公司等500强企业,www.91洁将继(jì)续以客户需求为基准,用现代技术、标准(zhǔn)工艺,竭诚为客户服务(wù)。

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