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多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清（qīng）掃（sǎo）裝置
時間：2011-01-11 來源：
多晶（jīng）矽還原爐體及鍾罩（zhào）幹（gàn）式清掃裝置 The dry clean system for Bell jar and the reactor base
■適用範圍
矽烷法多晶矽生產工藝。
用於還原車（chē）間反應釜中矽汙染物附著（zhe）力不大的工況條件下無汙染幹式清洗。
■工作原理
清（qīng）洗時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓（yā）氣體噴（pēn）吹以及特殊旋轉刷組（zǔ）合機構近距離對反應釜表麵進行噴吹和接觸式清（qīng）掃達到清洗的目的。通過清（qīng）洗旋轉調速機構可滿足各工況的要求。清洗的同時采用特殊除（chú）塵淨化器一次性進行除塵淨化（huà）。
■工藝（yì）流（liú）程
反應釜吊裝至清洗台上—定位—連接（jiē）、啟動淨化器—啟動旋轉（zhuǎn）、上（shàng）下移動機構—高壓氣體沿壁噴吹—旋轉（zhuǎn）刷至上而下接觸移動清掃—淨化氣體置換—反應釜吊起—檢查。
■設備組成及配置
主要由清洗平台、氣體噴吹裝置、吸塵（chén）輸送管道、控製（zhì）閥門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵（chén）淨化器、電氣控製係統（tǒng）等（děng）組成。
主要部件采用進口（kǒu）零部件（jiàn），確保運行可靠穩定、使用周期長。操作維修簡單（dān）。
■設備特點
1)裝置為移動單元式（shì）結構。
2)淨化後的空氣可達到10萬級的淨化精度可完全在室內排（pái）放。
3)采用全封閉幹式（shì）的清洗方式（shì）確保對環境不出現二次汙染。
4)電氣設計（jì）按隔爆（bào）的各項要求執行、 設備設有靜電導出裝置。
5)控（kòng）製方式可為全自動或手動控製。
6)運行總功率小，噪聲低。
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