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高壓清洗(xǐ)機在玻璃基板清洗中的應用
時間:2014-11-26 來源: 北京www.91潔(jié)清潔設備有限公司
在當今的LCD顯示器生(shēng)產過程中,清洗工(gōng)藝的應用是非常重要的,例如塗膠前對ITO玻璃的清洗、顯影後對玻璃基板的清洗(xǐ)以及磨擦(cā)工藝(yì)後對玻璃基板的清洗等(děng)。液晶(jīng)顯示器的一整套製備工藝中,清洗工藝就占到了總工作(zuò)量的30%~40%。隨著液晶顯示技術的不(bú)斷進步,清洗工藝(yì)的地位也越來越重要。以下是液晶顯示器的生(shēng)產流程簡圖,我們可以從中看到清洗工(gōng)藝在整個工藝路線中的重要性。

ITO薄(báo)膜層、TFT陣列等製備工藝過程以(yǐ)及玻璃基板的包裝、搬(bān)運、運輸和存儲過程是玻璃基板上的主要汙染程(chéng)序,其主要汙染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油或油脂(zhī)等油,以及三氧化二鋁、二氧化(huà)矽等無機微粒和(hé)製備過程中遺留的殘(cán)留物、水跡、手指印等。在整個LCD的(de)清洗過(guò)程中,業內針對上述汙染物采用(yòng)過不同的清洗方法,一(yī)方(fāng)麵是要去除玻璃基板上(shàng)沾染的汙染物(wù),避免其對液(yè)晶顯示器的性能造成不良的影響,而另一方麵也可以起(qǐ)到改善(shàn)玻璃基板(bǎn)表麵性能,增加其與加(jiā)工過(guò)程中使用的各種(zhǒng)材(cái)料之間的(de)親合力。

隨(suí)著液晶生產線對清洗工藝要求越來越高,工(gōng)程師們(men)提出了將高壓水射流(liú)技術應用於玻璃基板清洗中(zhōng)的可能。在使用(yòng)常壓水噴淋清洗時,噴射到玻璃基板上的水在其高表麵(miàn)張力的(de)作用(yòng)下,會在玻(bō)璃(lí)簡(jiǎn)板(bǎn)表麵形成一層水膜。水膜和混合基板表麵上的微(wēi)細顆粒和其他汙垢,這反而會對汙垢(gòu)起到保護作用,後續的水則很難將這層水膜衝破,因此會使清洗(xǐ)效率降低。而高(gāo)壓(yā)水射流技術是一種新型的清洗技術,我(wǒ)們采(cǎi)用超高壓微細顆粒水噴射清洗,將水形成大量的(de)粒徑在幾微米到幾十微米(mǐ)的微細液滴(dī),並以極高的速度和密度連續地噴射衝擊(jī)被(bèi)清洗物表麵。由於這種微細顆粒的水滴不可能形成(chéng)對汙垢有保護作用的水膜,因此(cǐ)對(duì)基板上(shàng)的各種汙垢特別(bié)是微細顆粒(lì)汙垢有很好的去除效果。
將高壓清洗機應用到玻璃基板的清洗工藝中,可通過將清洗(xǐ)液加壓到(dào)100~300bar的壓力,再通過孔徑為0.5~1.5mm的微孔噴射(shè)嘴噴出,形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基板。實際應用表明,高壓清洗機的應用提高了常壓(yā)噴淋清洗的洗淨力,縮短了(le)清洗(xǐ)線的長度,並且節省了淨化(huà)空間和DI水的使用量。
- 標簽:
- 高(gāo)壓清洗機
- 玻(bō)璃基(jī)板清洗
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