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www.91潔多晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗係統及(jí)清洗(xǐ)注意事項
時(shí)間:2016-10-21 來源: 北京德(dé)高潔清潔設備有限公司
目前,隨著光伏產(chǎn)業的快速發展,對多晶(jīng)矽的需求量也日趨增大。在多晶矽(guī)生產設備中,還原爐是整個生產係統的關(guān)鍵部件,多晶矽生產企業要實現節能降耗(hào)就必須嚴格把控還原爐(lú)的(de)運(yùn)行。
眾所周知,對還原爐內壁進行清洗處理,就是降低(dī)能耗的一種有效的方式,通過提高還原爐內壁光潔度及光亮度,使還原爐在(zài)矽棒生長過程中,爐壁(bì)在高溫狀態下(xià),對熱輻射反射率的(de)最大化,從而起到降低(dī)能耗的作(zuò)用。
www.91潔(jié)多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統是(shì)以高壓清洗機為主機,以高壓水射(shè)流為動力的自驅動三(sān)維旋轉噴頭形成(chéng)360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩(zhào)內部表麵的水(shuǐ)力掃射,並采用專用清洗(xǐ)劑等為主要清洗液,先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,之後再采(cǎi)用高純水衝洗,最終(zhōng)完成清洗過程。
一、工作流程
還原爐鍾罩到位—預清洗—清洗劑(堿液)清洗(xǐ)—漂洗—高純(chún)水衝(chōng)洗—淨化熱空氣幹燥—常溫幹燥—鍾罩(zhào)吊走。
二、係統特點
1、www.91潔多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統采用進口(kǒu)高壓泵,耐酸堿、耐高溫。清洗作業時三維(wéi)旋轉噴頭實現自驅動旋轉、自動(dòng)升降、全方位自動清洗,保證多晶矽的純度;
2、設置10萬級空氣淨化(huà)換熱裝置(zhì)代替原(yuán)氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝;
3、自行研發設計的自驅動旋轉升降噴射機構,一套係統實現多種型號還原爐鍾(zhōng)罩的清洗(xǐ)烘幹;
4、由於清洗過程(chéng)中會(huì)有氫氣和酸性物質產生,www.91潔(jié)多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染;
5、www.91(gāo)潔多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清洗係統充分利用資源,設計了高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置,並進行淨化使後序清(qīng)洗水用於前序的漂洗工序;利用多(duō)晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝。
三、注意事項
多晶(jīng)矽(guī)還原爐內的殘留物及清洗液(yè)具有腐蝕性,同時清洗中殘留氯(lǜ)矽烷會發生水解伴有氫氣產生,容(róng)易產(chǎn)生爆鳴燃燒。因此(cǐ),現(xiàn)場操(cāo)作中,需要做好安(ān)全防護措施。

1、清洗過程中必須穿戴好勞保用品,戴防護手(shǒu)套;
2、用氫氧(yǎng)化鈉溶液擦洗基盤時操作要緩慢,以免摩擦生熱引起著火;
3、基盤清洗過程中要避免溶(róng)液流進進料管和尾(wěi)氣管(guǎn)內造成二次汙染,www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次汙染的問題;
4、清洗中要保證將鍾罩烘烤幹,避免有殘留水分;
5、清洗劑(jì)的選擇對清洗效果和作(zuò)業安全有直接影響,這方麵(miàn)我公(gōng)司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃(shǎn)爆等問題。
- 標簽:
- 鍾罩
- 多晶矽
- 還原爐
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