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電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統
時間:2017-12-05 來源: 北京www.91潔清(qīng)潔設備有限公司
能源和環境問題日益(yì)成為(wéi)各方關注的焦(jiāo)點,為了實現能源和環境的可持續發展,世界各國都將太(tài)陽(yáng)能發電行業作為發展的重。多晶(jīng)矽還是(shì)信息產業和新能源產業(yè)最基礎的(de)原材料,還原工藝是多晶矽生產的(de)關鍵工藝和成品工藝,其工藝條件和參數控製好壞直接影響產品質量和產量。電子級多晶矽(guī)生產工藝要求很(hěn)高,要在“無油、無(wú)水、無塵”的環境下運行。

目前多晶矽生產多數(shù)采用改良西門子法,用(yòng)來生產半導體行(háng)業電子級(jí)多晶矽;還原爐和氫化爐是改(gǎi)良西門子法(fǎ)生產多晶矽的核心設備(bèi),其運行好壞直(zhí)接影響多晶矽質量及生產(chǎn)成本(běn)。鍾罩清洗不幹淨、光潔度不(bú)夠,常常導致矽芯擊(jī)不穿或產品質量汙染,所以鍾罩清(qīng)洗設備對多晶矽(guī)生(shēng)產非常重要。
經過多年來客戶(hù)的實際應用和需求(qiú),通(tōng)過總結借鑒國內外經驗,www.91潔對汙染和(hé)潔(jié)淨的概念和(hé)控製有了更全麵的認識(shí),充分(fèn)發揮高壓(yā)水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì),研發電子級多(duō)晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統。
www.91潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱水清(qīng)洗動力裝置、三(sān)維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升(shēng)降執行機構(gòu)、清洗工作台、萬級淨化幹燥(zào)係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統(tǒng)、清(qīng)洗(xǐ)工作台、電氣控製係統等,係(xì)統實現了鍾罩的(de)全自動清洗和烘幹操作。

電子級多晶矽還原(yuán)爐鍾罩自(zì)動清洗係統特點:
1、多晶矽還原爐(lú)鍾罩清洗係統以3D形式的網(wǎng)狀噴射來完成爐(lú)筒內部表麵(miàn)的水力掃射,加(jiā)之萬級淨化幹燥係統(tǒng),完全滿足電子級多晶矽生產(chǎn)的需(xū)求。
2、自動(dòng)化程度(dù)高,清洗時(shí)隻(zhī)需一鍵操作即可,操作簡單方便。自動控製係統能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗(xǐ)等工藝參數可(kě)以根據(jù)需(xū)要自(zì)行調整設定,同時具有半自動或手動功能。
3、在整個還原爐的清洗過程中,清洗、幹燥中筒內形成(chéng)微負壓狀態,防(fáng)止(zhǐ)清洗外溢,同時將底座與筒體下法蘭處的汙染物等一並吹掃,通過排汙管排出,從而保證了整個過程不會對(duì)潔淨區造成汙染。全密(mì)閉式清洗烘幹係統,使(shǐ)汙染物(廢氣、廢水等)在受(shòu)控的條件下,按設計出口排(pái)放(fàng),基本消除了對現場及操作(zuò)人員的汙染。
4、www.91潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統性(xìng)能可靠,核心部件、元件和附(fù)件原裝進(jìn)口。電子級多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清洗係統的適應範圍廣,一套係統可以實現多種型號鍾罩的清洗烘幹。
多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣,有高(gāo)壓清(qīng)洗(xǐ)、化學(xué)溶(róng)劑低(dī)壓清洗、機械拋光等,www.91(gāo)潔多晶矽鍾罩清洗係統覆蓋了國內90%的多晶矽企業,為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗(xǐ)係(xì)統(tǒng)。這套電子級多晶矽還原爐鍾(zhōng)罩(zhào)清洗係統經過反複摸索求證,可根據不同的鍾罩、不同車間廠(chǎng)房不同(tóng)能源條件,提供個性化設計,節省了人力物力,大大降低(dī)勞動(dòng)強度,這也對提(tí)高多晶矽(guī)品質(zhì)產(chǎn)生重要意義,取得(dé)了一定的經濟效益和社會效益。
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