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www.91潔多(duō)晶矽還原爐鍾罩清洗係統成為首選(xuǎn)清潔工藝
時間:2016-04-27 來源: 北京www.91潔(jié)清潔設備有限公司
多晶矽,是單質矽的一種形態,多晶矽材料是光伏產業的基礎。在生產中,還原爐每運行一個周(zhōu)期,其內表麵都會殘留無(wú)定形矽,同時含有氯(lǜ)矽烷水解(jiě)物及其他粉塵雜質。因(yīn)此每運行(háng)一個周期需要采用清(qīng)洗液,並根據殘留物(wù)分布情況對還原爐(lú)基盤和鍾罩分別采用(yòng)特定的清理工藝進(jìn)行處理。還原工藝是(shì)多晶矽生產的(de)關鍵工藝,其工(gōng)藝(yì)條(tiáo)件和參數控製好壞直接影響產品質量和產(chǎn)量。

多晶矽(guī)在整個生產過程中,對產品(pǐn)質量的控製要求很高,對還原爐的沉積(jī)環境的潔淨度(dù)要求(qiú)特別關鍵,任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐(lú)內,都會對產品質量造成影響。北京www.91(gāo)潔清潔設備有限公司經過(guò)研發設計並製造出了多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統,可以完全將多晶矽還(hái)原爐(lú)鍾罩清洗幹淨,滿足(zú)生產需(xū)求。
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統(tǒng)是以高壓清洗機為主機(jī),以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵,從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射,並采用專用清洗劑等為主(zhǔ)要清洗液,先用純水(去離子水或叫(jiào)脫鹽水)漂洗,之後再采用高純水(shuǐ)衝洗,最終完成清洗過程。
目前國內多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗(xǐ)、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法,但www.91潔多晶矽還(hái)原爐鍾罩清洗(xǐ)係統更具特點:

1、核心部件高壓泵采(cǎi)用進口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵,清洗作業時三維(wéi)旋轉噴頭(tóu)可實現自驅動旋(xuán)轉、自動升降、全方位自動清洗,並可保(bǎo)證多晶矽的純度;
2、利用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將(jiāng)清洗介質加熱,從而改變原電加熱工藝(yì);
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱,設置10萬(wàn)級空氣淨化換熱裝(zhuāng)置代替(tì)原氮氣電加熱幹燥還原爐(lú)體工(gōng)藝;
4、北京www.91(gāo)潔清潔設備有限公司自行研發設計的自驅動(dòng)旋轉升降噴射(shè)機構可適應各規格的還原爐體;
5、由於清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生,所以(yǐ)必須解決二次汙染問題。我公(gōng)司自行設(shè)計的全封閉式清洗裝置可完美(měi)解決(jué)二次汙染;
6、設計出高壓堿液和清水(shuǐ)的供給(gěi)和分開回收裝置(zhì),並進行淨化(huà)使後序清洗水用(yòng)於前序的漂(piāo)洗工序,充(chōng)分(fèn)利(lì)用了廢水資(zī)源。
還原爐沉積多晶矽是間歇操作,一個運行周期結束後需要打開鍾罩收割矽棒,然後進行基(jī)盤清理,再(zài)裝矽芯進行下一個周期(qī)的化學氣相沉積。北京www.91潔(jié)清潔設備有限公司研發生產的多晶矽自動化還原爐鍾罩清洗係統有效解決(jué)了生(shēng)產中的實際問題,方便、快捷、處理效果好,目前已成(chéng)為多晶矽還原爐鍾罩(zhào)清潔的首選。
- 標簽:
- 多(duō)晶矽(guī)
- 清洗係統
- 還原爐鍾罩
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