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www.91（gāo）潔多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩（zhào）清洗係統成為首選清潔工藝

時（shí）間：2016-04-27     來源（yuán）： 北京www.91潔清（qīng）潔設備有限公（gōng）司

多晶矽（guī），是單質矽的一種形態，多晶矽材料是光伏產業（yè）的基礎。在生產中，還原爐每運行一個周期，其內表麵都會殘留無定形矽，同（tóng）時含有氯矽（guī）烷水解物及其他粉塵雜質。因此每運行一個周期需要采用清洗液，並（bìng）根據殘留物分布情況對還原爐（lú）基盤和鍾罩分別采用特定的（de）清理工藝進行處理。還原工藝是多晶（jīng）矽生產的關鍵工（gōng）藝，其（qí）工藝條件和參數控製好壞直（zhí）接影響產品質量和產（chǎn）量。
 
多晶矽矽棒
 
多晶矽（guī）在整個生產過程中，對產品質量的控製要求很高，對還原爐的沉積環境的潔淨（jìng）度要求特別關鍵，任何顆粒（lì）性（xìng）雜質、油脂等物質餘留在爐內，都會對產品質量造成影響。北京www.91（gāo）潔清潔設備有限公司經過（guò）研發設計並（bìng）製造出了多晶矽自動化還原（yuán）爐鍾罩清洗係統（tǒng），可以完（wán）全將多晶矽還原（yuán）爐鍾罩清洗幹淨，滿足生產需求。
 
德（dé）高潔多晶矽（guī）還原爐鍾罩清洗係統是以高壓（yā）清洗機（jī）為主（zhǔ）機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭（tóu）形成360°的網狀高壓水柱噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃（sǎo）射，並（bìng）采用專（zhuān）用清洗劑（jì）等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之後再采用高純（chún）水衝洗，最終完成清洗過程。
 
目前國內多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械（xiè）拋光等清（qīng）洗方法，但德（dé）高（gāo）潔（jié）多晶矽還原爐鍾罩清洗係統更具特點：
 
多晶矽還原爐（lú）鍾（zhōng）罩清洗前後（hòu）對（duì）比
 
1、核心部件高壓泵采用進（jìn）口耐酸堿、耐高溫、全不鏽鋼的加壓泵，清洗作業時三維旋轉噴頭（tóu）可實現自驅動（dòng）旋轉、自動升降、全方位（wèi）自動清洗，並可保證多晶（jīng）矽（guī）的純度；
 
2、利用多晶矽生產廠家的（de）蒸汽餘熱將清洗介質加熱，從而改變原電加熱工藝；
 
3、利用多晶矽生產廠家的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空（kōng）氣淨（jìng）化換熱裝置（zhì）代替原氮氣電加熱幹燥還原爐體工藝；
 
4、北京www.91潔清潔設備（bèi）有限（xiàn）公司自行研發設計的自驅動旋轉（zhuǎn）升降噴射機構（gòu）可適應各規格的還原爐體；
 
5、由於清洗過程（chéng）中會有氫氣和酸性物質產生，所以（yǐ）必須解決二次汙染問題。我公司自行設計的全（quán）封閉式清洗裝置可（kě）完美解決二次（cì）汙染；
 
6、設（shè）計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，並（bìng）進行淨化使後序清洗水（shuǐ）用於前序的漂（piāo）洗工序，充（chōng）分利（lì）用（yòng）了廢（fèi）水資源。
 
還原爐沉積多晶矽是間歇操作，一個運行周期結束（shù）後需要（yào）打（dǎ）開鍾罩收割矽棒，然後進（jìn）行基盤清（qīng）理，再裝（zhuāng）矽芯進（jìn）行下一個周期（qī）的化學氣相沉積。北京（jīng）www.91潔（jié）清潔設備有限（xiàn）公司研發生產的多晶矽自動化還原爐（lú）鍾罩清洗係統有效解決了（le）生產中的實際問題，方便、快捷、處（chù）理效果好，目（mù）前已成為多晶矽還原爐鍾罩清潔的首選。
  • 標簽：
  • 多晶矽
  • 清洗係統
  • 還原爐（lú）鍾罩（zhào）
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