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首頁 > 技術文章

新型電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統

時間：2017-05-31     來源： 北（běi）京（jīng）www.91潔（jié）清潔設備有限公司

多晶矽材（cái）料是以工業矽為原料經（jīng）一係列物理化（huà）學反應提（tí）純（chún）後達到（dào）一定純度的電子材料，其具有高純（chún）度的特點，在整個生產過程中，對產品質量的控製要求很高。在（zài）競爭激烈市場價格越來越低的態勢（shì）下，更好（hǎo）的壓縮成本，也是多晶矽生產廠（chǎng）家關注的重點。
 
多晶矽（guī）生產多采用改良西門子法，也是用來生產半導體（tǐ）級多晶矽的主要工藝方法。還原爐（lú）是改良西門子法的核心設備，多晶矽的矽棒（bàng）就是（shì）在其中“生長”出來的（de），因此還原爐的沉積環境的潔淨度特別關鍵（jiàn）。
 
www.91潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統
 
在多晶矽（guī）的生產設備中，還原爐運行好（hǎo）壞直接影響多晶矽質量和生產（chǎn）成本，一般為（wéi）降低耗電和成本，采取調（diào）整工藝參數、提供（gòng）進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鍾（zhōng）罩等方法。一套好的鍾罩清洗裝置在多晶（jīng）矽（guī）生產中是非常必要的，因為鍾罩清洗的光潔（jié）度和清（qīng）潔度（dù）如果不夠，會導致（zhì）矽芯擊不（bú）穿或產品質量汙染。
 
目前多晶矽鍾罩的清洗方式多種多樣，有（yǒu）高壓清洗、化學溶劑低（dī）壓清（qīng）洗、機械拋光等。多晶矽還原爐清洗係統始於2009年，www.91潔清（qīng）潔設備有限公司是國內第一家研發設計製造並獲得實（shí）用新型（xíng）專（zhuān）利（lì）的。目前其設備應用也是覆（fù）蓋了國內90%的多晶矽企業，為（wéi）多晶矽行（háng）業提供了幾十套還原爐清洗係統。
 
經過多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外鍾（zhōng）罩及其它罐類清洗烘幹經驗，對汙染和潔淨的概念（niàn）和控製有了更全麵的認識。www.91潔充分發（fā）揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，研發半導體級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統，實現了（le）鍾罩的全自動清（qīng）洗和烘幹操作。
 
1、設備性能可靠
 
www.91潔電（diàn）子級多晶矽鍾罩清（qīng）洗係（xì）統性能可靠，核心部（bù）件、元件和附件原裝進口。
 
2、自動化程度（dù）高
 
自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動（dòng）控製係統，能實現對還原（yuán）爐鍾（zhōng）罩的自動清洗和烘幹，清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以（yǐ）根據需要自行（háng）調整（zhěng）設定，同時具有半自動或手動功能。
 
一次吊裝在一個（gè）工作台上完成全部清洗、烘幹過程，可實現遠程對樓（lóu）下設備（bèi）的控製和主要（yào）參數監（jiān）控。
 
3、安全環保
 
全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物(廢氣、廢（fèi）水等)在受控的條件下，按設計出口排放（fàng），基本消除了對現場（chǎng）及操（cāo）作人（rén）員的汙染。
 
德（dé）高潔多晶矽鍾罩清洗係（xì）統按防爆要求設計，加多（duō）處（chù）安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏（lòu）電（diàn）保護，水風工作互鎖等)。
 
4、適應範圍廣
 
可以在（zài）一套係統實現多種型號鍾罩的清洗（xǐ）烘幹，現在已經使用的有四種。
 
升級後的多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗係統可根（gēn）據不同的鍾罩、不同車間廠房不同能（néng）源條件，提（tí）供個性化設（shè）計，節省了人（rén）力（lì）物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶（jīng）矽品質產生重要意義。
  • 標簽：
  • 鍾罩
  • 多晶矽
  • 還（hái）原爐
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